真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我公司專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn):在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時,真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此,我公司基于電離電荷的采樣技術(shù),顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準(zhǔn)確性。
漏電電流的處理
對處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時,會有數(shù)值不等的幾個微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機(jī)上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測性,并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。
相關(guān)產(chǎn)品
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