白光共焦干涉顯微鏡是使用光干涉原理來展示物件的內(nèi)部或表面的顯微鏡。光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后,經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測表面反射回來,另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉。顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
主要由以下幾部分組成:
顯微物鏡:最前端為分光棱鏡,將照明光分為兩路,分別為參考臂和測量臂。當(dāng)參考臂和測量臂光程近乎相等時(shí),干涉條紋的對比度最大,通過筒鏡后方的CMOS元件可以記錄干涉條紋并導(dǎo)入軟件分析,可以測量出視場區(qū)域的微觀形貌,例如粗糙度測量。
場曲與畸變:顯微物鏡的場曲為20um左右,畸變0.0153%。
公差分析表明,該物鏡的公差寬松,易于裝配與加工,具有很高的量產(chǎn)價(jià)值。
清潔方法:
用干凈的布清潔顯微鏡的表面,包括目鏡、物鏡和平臺。
用清潔劑清洗顯微鏡的反射鏡和光纖。
清洗后,用干凈的布將顯微鏡擦干。
為防止塵埃污染,可以在顯微鏡上涂一層光學(xué)儀器專用的防塵脂。
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