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白光共焦干涉顯微鏡是使用光干涉原理來展示物件的內(nèi)部或表面的顯微鏡。光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后，經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉。顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
主要由以下幾部分組成：
顯微物鏡：最前端為分光棱鏡，將照明光分為兩路，分別為參考臂和測量臂。當(dāng)參考臂和測量臂光程近乎相等時(shí)，干涉條紋的對比度最大，通過筒鏡后方的CMOS元件可以記錄干涉條紋并導(dǎo)入軟件分析，可以測量出視場區(qū)域的微觀形貌，例如粗糙度測量。
場曲與畸變：顯微物鏡的場曲為20um左右，畸變0.0153%。
公差分析表明，該物鏡的公差寬松，易于裝配與加工，具有很高的量產(chǎn)價(jià)值。
清潔方法:
用干凈的布清潔顯微鏡的表面，包括目鏡、物鏡和平臺。
用清潔劑清洗顯微鏡的反射鏡和光纖。
清洗后，用干凈的布將顯微鏡擦干。
為防止塵埃污染，可以在顯微鏡上涂一層光學(xué)儀器專用的防塵脂。
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