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氣體質(zhì)量流量控制器的工作原理是當氣體流過感應管時，會使用毛細管傳熱溫差量熱法的原理來測量氣體的質(zhì)量流量。
使用要求：
1.氣體質(zhì)量流量控制器所在氣路氣源要安裝減壓閥對整體氣路進行減壓處理。氣體質(zhì)量流量控制器壓力過小可能造成氣源不足，導致實際流量到達不了設定值流量；壓力如果過大，會使氣體質(zhì)量流量控制器的層流傳感器處于過載狀態(tài)，有可能造成傳感器精度損失或者造成傳感器損壞。
2.氣體質(zhì)量流量控制器前端要配置截止閥、過濾器、干燥器等配件，其中截止閥可有效阻斷氣源對氣體質(zhì)量流量控制器的壓力沖擊，對氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)部的層流傳感器起到保護作用；過濾器、煩躁器可確保進入氣體質(zhì)量流量控制器的氣體是純凈、干燥的氣體，如果氣源雜質(zhì)、水汽含量較大，會形成結垢物質(zhì)，堵塞流道，從而導致層流傳感損壞或者精度出現(xiàn)較大偏差。
3.氣體質(zhì)量流量控制器后端要配置單向閥或隔膜閥以防止后端氣體壓力過大，氣體回流到氣體質(zhì)量流量控制器中。在單向閥和隔膜閥后端配置截止閥，防止氣體質(zhì)量流量控制器閥門關不嚴或在使用的過程中突然出現(xiàn)問題導致氣體質(zhì)量流量控制器閥門不受控制。
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