適用于無機化學(xué)分析(ICP、ICP-MS)的超純水純化方法
ICP、ICP-MS幾乎可以有效的分析所有元素,因此被廣泛的使用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、核工領(lǐng)域,以及環(huán)境樣品的元素分析。尤其是 ICP-MS,由于可以進行極微量的金屬分析,因此所使用的超純水,其金屬是要去除到極限的。
超純水系統(tǒng)的純化方法中,用來去除離子的是離子交換樹脂,因此維持樹脂的交換能力是很重要的。離子交換樹脂除了會因為官能基飽和而降低去除能力外,樹脂表面也會發(fā)生有機物質(zhì)與微生物的附著,所以在離子交換樹脂的前段處理程序中,使用紫外線燈來氧化分解有機物質(zhì),以防止樹脂被污染。此外,為了盡早發(fā)覺樹脂的劣化,所以可以在前段的離子交換管匣之后裝上比阻抗計,以偵測水質(zhì)的變化(圖1)。這種超純水系統(tǒng)的組合,對水中所含元素的偵測靈敏度可達 ppt 級。
影響 ICP-MS 分析的因素中,包含容器的清凈度與溶出 (extraction) 問題。當我們進行極微量的無機離子分析時,必須使用高純凈度以及不易溶出金屬離子的容器。關(guān)于其它的技術(shù)問題,如 Nebulizer 產(chǎn)生氣泡現(xiàn)象,以及 K、Ca 等離子的檢測訊號會受到 Ar 的影響,可藉去除水中溶解氣體來解決問題。
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