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滑臺(tái)在3C和半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用分享

來(lái)源:北京卓立漢光儀器有限公司   2023年11月08日 11:02  

    隨著科技的不斷發(fā)展,工業(yè)領(lǐng)域?qū)τ诟呔?、智能化和自?dòng)化的需求也越來(lái)越高。在實(shí)現(xiàn)輕載自動(dòng)化應(yīng)用中,高精密手動(dòng)滑臺(tái)、微米級(jí)別電動(dòng)滑臺(tái)和納米級(jí)別滑臺(tái),以其輕盈便捷、高精密特點(diǎn)成為了工業(yè)智能化的重要的一部分,同時(shí)也解決了一部分人員成本等諸多不穩(wěn)定因素,已被廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域,可實(shí)現(xiàn)真空、污染、無(wú)菌、輻射等環(huán)境下的位移控制的實(shí)際應(yīng)用需求。

   在3C領(lǐng)域,滑臺(tái)產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于手機(jī)、電腦、相機(jī)等產(chǎn)品的制造過(guò)程中。例如,手機(jī)殼體的加工、屏幕貼合、攝像頭安裝等環(huán)節(jié)都需要滑臺(tái)產(chǎn)品的精確控制?;_(tái)產(chǎn)品能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的定位和高速的傳輸,提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,滑臺(tái)產(chǎn)品主要用于晶圓處理、芯片貼裝、引線(xiàn)焊接等環(huán)節(jié)。這些環(huán)節(jié)對(duì)精度的要求非常高,滑臺(tái)產(chǎn)品能夠提供高精度的運(yùn)動(dòng)控制和高效的數(shù)據(jù)處理能力,確保生產(chǎn)線(xiàn)的穩(wěn)定性和良品率。

   卓立漢光可提供多種類(lèi)手動(dòng)/電動(dòng)位移滑臺(tái)、納米壓電位移臺(tái)等產(chǎn)品,系列豐富,種類(lèi)齊全,滿(mǎn)足客戶(hù)不同種類(lèi)的需求:

1、       VR/AR檢測(cè):

1.1手動(dòng)檢測(cè):卓立漢光可以提供3-6軸檢測(cè),靈敏度小于2um,推薦產(chǎn)品AAK3-60L\AAK4-60L\AAK5-60L\AAK6-60L;

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2、HXP-824六軸系統(tǒng)以及壓電六軸;

2.1HXP系列六軸并聯(lián)機(jī)器人系統(tǒng)主要用于高精度的六自由度調(diào)整,尤其適合于空間精密對(duì)位、微小器件加工和裝配、鏡片檢測(cè)、光通信等領(lǐng)域。IMG_256

2.2納米級(jí)別壓電六軸可以實(shí)現(xiàn)nm級(jí)別調(diào)整,可以用于晶圓檢測(cè),以及nm檢測(cè)應(yīng)用。

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3.  光盤(pán)測(cè)試

主要是對(duì)主要是做流延膜、拉伸膜、光學(xué)材料、電子材料、航空航天材料等成分分析,卓立漢光壓電掃描臺(tái)可以解決此方案。

 

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2.   納米定位臺(tái),壓電掃描臺(tái)

物鏡精密定位:納米聚焦系統(tǒng),主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料檢測(cè),電鏡nm級(jí)別調(diào)整。

推薦產(chǎn)品:Carrier.OB

 

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Z方向單一運(yùn)動(dòng)方向,行程覆蓋50, 100 & 400um

• 快速運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定,10ms內(nèi)完成

• 支持高負(fù)載物鏡選項(xiàng);提供多種物鏡轉(zhuǎn)接接口

• 支持第三方軟、硬件控制,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)焦

• 支持電容(.C) & 電阻(.S ) 位置傳感

• 最高分辨率達(dá)到0.2 nm

• 支持無(wú)磁 (.NM), 超高真空(.UHV)選件升級(jí)

 


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