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概況：
錦正茂JZM-D30室溫探針臺的諸多設(shè)計都是專用的，探針臺的配置主要是根據(jù)用戶的需求進(jìn)行選配及設(shè)計。例如，要求的磁場型號，電源型號，磁場值，樣品臺的尺寸等，除此之外，該探針臺和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用，可以提高磁場的高穩(wěn)定性。因此，該類型的探針臺主要依據(jù)客戶的使用情況進(jìn)行設(shè)計優(yōu)化。
技術(shù)參數(shù)：
※磁場型號:EM3加長版
※電源型號:JP10-40，優(yōu)于50ppm
※磁場值:>1000Gs@60mm間距
※磁場分辨率:優(yōu)于0.1Gs
※三維探針座:高精度三維探針座4個
※載物臺直徑:30mm
※Y軸位移-15mm至200mm,精度優(yōu)于10微米
※X軸位移±15mm,精度優(yōu)于10微米
※Z軸行程10mm,精度優(yōu)于20微米
※R軸旋轉(zhuǎn):360度粗調(diào)，±5°范圍內(nèi)精調(diào)，精調(diào)精度10'
※顯微鏡:體視顯微鏡，變倍范圍優(yōu)于10-150倍
※機(jī)械加工精度優(yōu)于10微米。
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