BPS型瑞士Levitronix流量控制器專為微電子濕式應(yīng)用中精細(xì)流體的超純處理而設(shè)計(jì)。基于主動(dòng)磁懸浮，泵葉輪懸浮并由電機(jī)磁場(chǎng)驅(qū)動(dòng)。寬間隙確保運(yùn)動(dòng)部件之間沒有機(jī)械接觸，因此不會(huì)磨損。沒有軸承磨損或密封件損壞。

葉輪和外殼均由耐化學(xué)腐蝕的高純度含氟聚合物樹脂制成。通過電子調(diào)節(jié)葉輪速度來精確控制流體流量和壓力。

   BPS型瑞士Levitronix流量控制器優(yōu)勢(shì)如下：

事實(shí)

由于止回閥、波紋管或隔膜等運(yùn)動(dòng)部件的機(jī)械接觸而產(chǎn)生的摩擦?xí)?dǎo)致磨損。磨損會(huì)導(dǎo)致顆粒脫落，從而導(dǎo)致晶圓缺陷。

測(cè)試條件

對(duì)來自四個(gè)不同制造商的十臺(tái)泵在多種測(cè)試條件下運(yùn)行期間的超純水中顆粒脫落情況進(jìn)行了評(píng)估。選擇測(cè)試條件以便可以在典型操作條件下對(duì)組中的所有泵進(jìn)行比較。

結(jié)果

無論泵的運(yùn)行條件如何， Levitronix ®泵在所有評(píng)估的泵中始終排出最少的顆粒。在所有測(cè)試中，Levitronix ®泵下游測(cè)得的顆粒濃度非常接近系統(tǒng)中沒有測(cè)試泵時(shí)測(cè)得的濃度。

東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司專業(yè)供應(yīng)進(jìn)口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關(guān)、離合器、過濾器、濾芯、流量計(jì)、液位計(jì)、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國(guó)美國(guó)有公司，廠家一手貨源，詳請(qǐng)致電。