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射頻磁控濺射鍍膜儀原理、特點(diǎn)

來(lái)源:北京格微儀器有限公司   2024年01月05日 15:46  
   射頻磁控濺射鍍膜儀是一種在真空環(huán)境下,利用射頻電源驅(qū)動(dòng)的磁控濺射技術(shù),將靶材原子或分子以高速粒子形式沉積到基片表面形成薄膜的設(shè)備。這種設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、光學(xué)、光電、能源、環(huán)保等領(lǐng)域,是現(xiàn)代高科技產(chǎn)業(yè)中的重要工具。

  射頻磁控濺射鍍膜儀的工作原理是利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束和引導(dǎo),使得帶電粒子在電場(chǎng)作用下加速飛向靶材,與靶材發(fā)生碰撞后,部分靶材原子被彈出,形成離子云。這些離子在電場(chǎng)作用下向基片運(yùn)動(dòng),與基片表面的原子或分子發(fā)生碰撞,使得原子或分子從基片表面脫離,形成新的薄膜。這個(gè)過(guò)程被稱為濺射過(guò)程。通過(guò)控制射頻電源的功率和頻率,可以調(diào)節(jié)濺射速率,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度的控制。
 

射頻磁控濺射鍍膜儀

 

  一、射頻磁控濺射鍍膜儀的主要組成部分包括:射頻電源、磁控系統(tǒng)、濺射靶材、基片架和真空系統(tǒng):
  1、射頻電源是設(shè)備的核心部分,它產(chǎn)生并輸出高頻電磁波,驅(qū)動(dòng)濺射過(guò)程。
  2、磁控系統(tǒng)由磁場(chǎng)線圈和磁場(chǎng)控制器組成,它產(chǎn)生并調(diào)節(jié)磁場(chǎng),對(duì)帶電粒子進(jìn)行約束和引導(dǎo)。
  3、濺射靶材是設(shè)備的工作物質(zhì),它的選擇和制備直接影響到薄膜的性能。
  4、基片架用于固定和調(diào)整基片的位置和角度,以滿足不同的鍍膜需求。真空系統(tǒng)用于抽真空,創(chuàng)造一個(gè)無(wú)氣體、無(wú)塵埃的環(huán)境,保證濺射過(guò)程的穩(wěn)定進(jìn)行。
 
  二、射頻磁控濺射鍍膜儀具有許多優(yōu)點(diǎn):
  1、可以在低溫下進(jìn)行工作,不會(huì)對(duì)基片造成熱損傷;
  2、可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度的精確控制,滿足不同應(yīng)用的需求;
  3、可以制備出具有優(yōu)良性能的薄膜,如高純度、低缺陷、高附著力等;
  4、可以實(shí)現(xiàn)多種材料的復(fù)合鍍膜,擴(kuò)大了薄膜的應(yīng)用范圍;
 
  總的來(lái)說(shuō),射頻磁控濺射鍍膜儀是一種高效、精密的薄膜制備設(shè)備,它在現(xiàn)代科技產(chǎn)業(yè)中發(fā)揮著重要的作用。

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