電感藕合等離子體發(fā)光光譜分析（ICP）：
       高頻振蕩器發(fā)生的高頻電流，經(jīng)過耦合系統(tǒng)連接在位于等離子體發(fā)生管上端，銅制內(nèi)部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發(fā)生管內(nèi)有三個同軸氫氣流經(jīng)通道。冷卻氣（Ar）通過外部及中間的通道，環(huán)繞等離子體起穩(wěn)定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。工作氣體（Ar）則由中部的石英管道引入，開始工作時啟動高壓放電裝置讓工作氣體發(fā)生電離，被電離的氣體經(jīng)過環(huán)繞石英管頂部的高頻感應(yīng)圈時，線圈產(chǎn)生的巨大熱能和交變磁場，使電離氣體的電子、離子和處于基態(tài)的氖原子發(fā)生反復猛烈的碰撞，各種粒子的高速運動，導致氣體*電離形成一個類似線圈狀的等離子體炬區(qū)面，此處溫度高達6000一10000攝氏度。樣品經(jīng)處理制成溶液后，由超霧化裝置變成全溶膠由底部導入管內(nèi)，經(jīng)軸心的石英管從噴咀噴入等離子體炬內(nèi)。樣品氣溶膠進入等離子體焰時，絕大部分立即分解成激發(fā)態(tài)的原子、離子狀態(tài)。當這些激，發(fā)態(tài)的粒子回收到穩(wěn)定的基態(tài)時要放出一定的能量（表現(xiàn)為一定波長的光譜），測定每種元素*的譜線和強度，和標準溶液相比，就可以知道樣品中所含元素的種類和含量。
電感耦合等離子質(zhì)譜儀和等離子光譜儀的區(qū)別:
       電感耦合等離子體質(zhì)譜法是將被測物質(zhì)用電感耦合等離子體離子化后，按離子的質(zhì)荷比分離，測量各種離子譜峰的強度的一種分析方法。等離子體是由自由電子、離子和中性原子或分子組成，總體上成電中性的氣體，其內(nèi)部溫度高達幾千度至一萬度。樣品由霧化器霧化后由載氣攜帶從等離子體焰炬*穿過，迅速被蒸發(fā)電離并通過離子引出接口或采樣錐導入到質(zhì)量分析器，樣品在*溫度下*蒸發(fā)和解離，電離的百分比高，因此幾乎對所有元素均有較高的檢測靈敏度，由于該條件下化合物分子結(jié)構(gòu)已經(jīng)被破壞，所以僅適用于元素分析。