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高低溫真空探針臺應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體材料光電檢測，功率器件測試，MEMS測試，PCB測試，液晶面板測試，測量表面電阻率測試，精密儀器生產(chǎn)檢測，航空航天實驗室。
高低溫真空探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析，抽查測試等用途。
探針臺結(jié)構(gòu)小巧，功能實用，成本較低的簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺探針座，四維調(diào)整載片臺（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；譜量光電可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺，以達到更好得使用效果和性價比。
實驗附件及常規(guī)測試步驟：
光學(xué)隔振平臺（臺面＞600mm*600mm），一臺計算機（標準VGA接口和USB3.0接口）吉時利2400數(shù)字源表（含軟件）等測試時連接探針臺和數(shù)字源表，探針接被測物體，通過顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測物表面，待連接導(dǎo)通后打開源表軟件，選好參數(shù)即可出該觸點的I-V性能曲線。
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