聚焦離子束掃描電子顯微鏡系統(tǒng)的原理和功能介紹
系統(tǒng)原理:首先離子源產(chǎn)生離子束被聚光鏡匯聚為極細(xì)的聚焦離子束,聚焦離子束通過(guò)控制線(xiàn)圈控制對(duì)指定的位置進(jìn)行加工刻蝕;電子源產(chǎn)生電子束被聚光鏡匯聚為極細(xì)的聚焦電子束,聚焦電子束通過(guò)掃描線(xiàn)圈對(duì)樣品進(jìn)行掃描,獲得各個(gè)被加工位置的實(shí)時(shí)圖像,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)加工過(guò)程的實(shí)時(shí)監(jiān)控。
聚焦離子束掃描電子顯微鏡主要功能包括:
①電子束成像,用于定位樣品、獲取微觀(guān)結(jié)構(gòu)和監(jiān)測(cè)加工過(guò)程;
②離子束刻蝕,用于截面觀(guān)察和圖形加工;
③氣體沉積,用于圖形加工和樣品制備;
④顯微切割制備微米大小納米厚度的超薄片試樣(厚度小于<100 nm),用于后續(xù)的TEM和同步輻射STXM等相關(guān)分析;
⑤顯微切割制備納米尺寸的針尖狀樣品,用于后續(xù)的APT分析,獲取其微量元素和同位素信息;
⑥綜合SEM成像、FIB切割及EDXS化學(xué)分析,對(duì)試樣進(jìn)行微納尺度的三維重構(gòu)分析等。
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