手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
紫外光刻機是半導(dǎo)體工業(yè)和微納米技術(shù)領(lǐng)域中重要的裝備，它在芯片制造過程中具有重要的地位。紫外光刻機能夠以更快的速度生產(chǎn)更加復(fù)雜的芯片，并且大的提高了芯片的性能。下面將介紹紫外光刻機的工作原理、特點以及應(yīng)用領(lǐng)域。
該光刻機可廣泛用于MEMS和光電子，例如LED生產(chǎn)。它經(jīng)過特殊設(shè)計，方便處理各種非標(biāo)準(zhǔn)基片、例如混合、高頻元件和易碎的***族材料，包括砷化鎵和磷化銦。而且該設(shè)備可通過選配升級套件，實現(xiàn)紫外納米壓印光刻。它具有以下亮點：高分辨率掩模對準(zhǔn)光刻，特征尺寸優(yōu)于0.5微米、裝配單視場顯微鏡或分視場顯微鏡，實現(xiàn)快速準(zhǔn)確對準(zhǔn)、針對厚膠工藝進行優(yōu)化的高分辨光學(xué)系統(tǒng)、可選配通用光學(xué)器件，在不同波長間進行快速切換等。
根據(jù)光源類型不同，光刻機主要分為紫外光刻機、深紫外光刻機和極紫外光刻機。其中，紫外光刻機是應(yīng)用廣泛的一種，主要用于生產(chǎn)90納米及以上幾何尺寸的芯片；深紫外光刻機可制造更加好的高密度芯片，其分辨率達到10納米左右；而相比之下，極紫外光刻機則具有更高分辨率，可制造出基于7納米及以下幾何尺寸的芯片，但目前管理和使用成本不低。
以下是紫外光刻機的主要組成部分：
1. 光源：紫外光刻機使用紫外光作為曝光光源。
2. 光刻膠：光刻膠是一種特殊的材料，其在紫外光的照射下會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而形成所需的圖案。
3. 掩模：掩模是用來遮擋部分紫外光的裝置，從而使得只有部分光刻膠受到曝光。
4. 透鏡：透鏡用來聚焦紫外光，從而使得光刻膠上的圖案更加清晰。
5. 運動系統(tǒng)：運動系統(tǒng)用來準(zhǔn)確地控制掩模和光刻膠的位置，從而使得曝光更加準(zhǔn)確。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心