低溫泵：

在真空中形成極低溫(10-15K)的冷卻表面(冷凝板)，與冷凝板接觸的大部分氣體分子(N₂、Ar等)將在冷凝板上凝結(jié)。氫氣、氦氣等平衡蒸氣壓特別高的氣體分子通過被黏附在冷凝板表面的吸附劑吸附的方式排出。而平衡氣壓較低的氣體(大部分為水蒸氣)則在冷卻至 80K的擋板上凝結(jié),提高冷凝板的排氣能力。

對于冷凝板(10~15K)、擋板及屏蔽筒(75~80K)的冷卻，則通過氦氣冷凍機系統(tǒng)(由冷凍機和壓縮機構(gòu)成)來實現(xiàn)。

低溫泵能制造出10^-7--10^-9Pa（10^-9--10^-11Torr）以下的純凈真空環(huán)境。并且在10^-1--10^-8Pa（10^-3--10^-10Torr）的壓力范圍內(nèi)持有快速排氣速度。

特點：

· 能創(chuàng)造出其他真空泵不能創(chuàng)造的極純凈的真空環(huán)境

· 能排出所有種類氣體

· 因不需要液氮、運行成本低廉

· 能對任意方向進(jìn)行安裝

· 設(shè)計緊湊,輕便

· 操作簡單

· 排氣速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于離子泵、渦輪分子泵

用途：

· 蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

· 濺射鍍膜設(shè)備

· 離子注入設(shè)備

· 半導(dǎo)體制造設(shè)備

· 加速器

· 核聚變設(shè)備

· 表面分析設(shè)備

· 空間模擬室 (space chamber)

· 其他要求高純凈真空、高真空的設(shè)備

使用優(yōu)勢：

· 提高生產(chǎn)效率：高效節(jié)能的制冷技術(shù)使得設(shè)備在運行過程中能夠更快地達(dá)到所需的低溫環(huán)境，從而提高生產(chǎn)效率。

· 保證產(chǎn)品質(zhì)量：穩(wěn)定可靠的性能使得設(shè)備在運行過程中能夠保持恒定的低溫環(huán)境，保證產(chǎn)品的質(zhì)量和穩(wěn)定性。

· 降低運行成本：高效節(jié)能的技術(shù)和穩(wěn)定的性能使得設(shè)備的能耗更低，故障率更低，從而降低運行成本。