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半導(dǎo)體晶圓加熱:選擇實(shí)驗(yàn)電熱板的優(yōu)勢(shì)

來(lái)源:廣州格丹納儀器有限公司   2024年06月27日 09:52  

與傳統(tǒng)加熱方法相比,實(shí)驗(yàn)電熱板在加熱面積、溫度均勻性、穩(wěn)定性、控制精度和安全性方面均展現(xiàn)出優(yōu)勢(shì)。此外,其靈活性和可調(diào)節(jié)性滿足了多樣化的加熱需求,也可提升晶圓加熱過(guò)程的質(zhì)量和效率。


半導(dǎo)體晶圓加熱:選擇實(shí)驗(yàn)電熱板的優(yōu)勢(shì)



格丹納HT-200實(shí)驗(yàn)電熱板:晶圓加熱的選擇


1、溫度均勻性:HT-200電熱板采用光滑耐腐蝕的玻璃陶瓷臺(tái)面,提供寬敞的加熱面積,確保晶圓表面溫度分布的一致性。


2、穩(wěn)定性與控制精度:HT-200的分體式設(shè)計(jì)不僅提升了操作安全性,還便于操作者遠(yuǎn)離有害酸霧。其鉑金電阻控溫技術(shù)確保了快速且均勻的升溫,溫度可達(dá)到400℃。


電熱板的分體式設(shè)計(jì)


3、安全性:HT-200具備熱警顯示功能,當(dāng)加熱臺(tái)面溫度超過(guò)50℃時(shí),警示燈將變?yōu)榧t色,以提醒操作者。內(nèi)置隔熱棉的電熱板即便在200℃的高溫下,機(jī)身周圍溫度也僅30-40℃,有效防止實(shí)驗(yàn)人員燙傷。


4、便捷性:HT-200的大加熱面積適合批量晶圓處理,配備的大屏幕LCD液晶顯示屏,提供了直觀的操作界面,簡(jiǎn)化了操作流程。


選擇HT-200的理由


1、高品質(zhì)材料:HT-200采用耐高溫、抗銹蝕、耐磨損的高品質(zhì)玻璃陶瓷臺(tái)面,保證了設(shè)備的長(zhǎng)久使用壽命和易清潔性。

2、精準(zhǔn)控溫:HT-200的鉑金電阻控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)了±1℃的高溫度穩(wěn)定度和±0.2℃的測(cè)溫精度,確保了加熱過(guò)程的精確性。

3、安全可靠:HT-200配備了過(guò)溫保護(hù)、過(guò)載保護(hù)等多重安全措施,結(jié)合熱警顯示功能,有效預(yù)防了操作失誤或其他意外情況。

4、廣泛適用性:HT-200的多功能性使其適用于環(huán)境監(jiān)測(cè)、農(nóng)業(yè)食品檢驗(yàn)、產(chǎn)品質(zhì)量控制、科學(xué)研究以及疾病預(yù)防控制等多個(gè)領(lǐng)域。


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