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巴魯夫傳感器解決方案丨在載具傳送中實(shí)現(xiàn)非接觸式精確定位的理想之選

來源：上海韋信自動化設(shè)備有限公司 2024年07月12日 12:08

在全球數(shù)字化的浪潮中，半導(dǎo)體行業(yè)扮演著至關(guān)重要的角色。并且隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等技術(shù)的快速發(fā)展，對高性能半導(dǎo)體芯片的需求也在日益增長。

在半導(dǎo)體制造過程中，每一個(gè)環(huán)節(jié)都必須達(dá)到j(luò)i高的精度和可靠性，以滿足日益嚴(yán)苛的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。載具傳送作為保障晶圓在生產(chǎn)過程中安全、高效移動的關(guān)鍵步驟，其創(chuàng)新和優(yōu)化對于整個(gè)半導(dǎo)體生產(chǎn)具有重要意義。

巴魯夫為您提供高效且可靠的

載具傳送解決方案

精確與高效

無論是FOUP和SMIF晶圓傳送盒，巴魯夫支持載具的精確和高效傳送。系統(tǒng)能夠全自動監(jiān)測AMHS的移動，無論是在短距離的RGV應(yīng)用還是長距離的OHV應(yīng)用中，都表現(xiàn)出ji高的可靠性。

非接觸式定位

巴魯夫的非接觸式系統(tǒng)提供了精確的定位能力，確保晶圓能夠安全、可靠地傳送至每個(gè)工序，有效避免了擦傷和裂口的問題。

可追溯性

系統(tǒng)還具備強(qiáng)大的可追溯性，能夠?qū)崟r(shí)記錄載具的位置，確保生產(chǎn)過程的透明度和追蹤能力。

接下來讓我們一起來看看巴魯夫產(chǎn)品在載具傳送環(huán)節(jié)的具體應(yīng)用：

檢測載具是否存在

Balluff Micromote^®光學(xué)傳感器頭

如果要檢測裝載埠上是否有載架，巴魯夫的對射型和漫反射型傳感器以其扁平構(gòu)造巧妙集成于裝載埠，能夠節(jié)省空間并進(jìn)行精準(zhǔn)檢測，確保機(jī)器只在載具?？繒r(shí)啟動，優(yōu)化生產(chǎn)流程。

產(chǎn)品亮點(diǎn)

極為扁平的構(gòu)造

節(jié)省空間

單獨(dú)聚焦

可靠跟蹤載具

BVS視覺傳感器

為了能夠跟蹤AMHS系統(tǒng)中的載具，您可以為載具配置二維碼。我們的BVS視覺傳感器能夠識讀數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼和條形碼，從而能夠偵測到輸送載具的每一個(gè)動作，確保您隨時(shí)掌握輸送載具的動態(tài)。

產(chǎn)品亮點(diǎn)

易于集成，操作簡單直觀

所有數(shù)據(jù)均集中存儲調(diào)用

將大量數(shù)據(jù)與過程網(wǎng)絡(luò)分離，zuui大程度減少了數(shù)據(jù)負(fù)荷

持續(xù)檢測AMHS位置

BML磁柵編碼系統(tǒng)

采用我們的BML磁編碼位置測量系統(tǒng)，您可以實(shí)現(xiàn)對輸送車位置的精準(zhǔn)監(jiān)測。這些傳感器可以根據(jù)您的特定測量需求進(jìn)行定制配置，具有高度精確性，確保您的載具順暢且準(zhǔn)確地傳送至裝載架。

產(chǎn)品亮點(diǎn)

非接觸式測量原理，即無磨損

極其可靠，高度精確

用途多樣，磁條最長可達(dá)48m，可根據(jù)需求裁剪

檢測AMHS終端位置

巴魯夫BES電感式傳感器

我們?yōu)槟O(jiān)測載具輸送車的終端位置提供了眾多選擇。根據(jù)您的具體需求，我們的電感式、電容式或光電式傳感器能夠確認(rèn)AMHS位置是否正確，您的載具是否精確定位在裝載架上。

產(chǎn)品亮點(diǎn)

非接觸式，無磨損

技術(shù)多樣性，高效應(yīng)對各種需求

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半導(dǎo)體自動化手選巴魯夫

在半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展過程中，巴魯夫以其前瞻性的技術(shù)為您的生產(chǎn)提供堅(jiān)實(shí)支撐。我們致力于提供創(chuàng)新的自動化解決方案，通過集成先進(jìn)的傳感器、監(jiān)測技術(shù)和智能控制，優(yōu)化您的生產(chǎn)流程，提升產(chǎn)品質(zhì)量并降低成本，助力您應(yīng)對半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的各種挑戰(zhàn)。

同時(shí)我們根據(jù)您的需求提供定制化的解決方案。無論是提高生產(chǎn)效率、優(yōu)化資源配置，還是增強(qiáng)生產(chǎn)過程的透明度和可追溯性，巴魯夫都能為您提供全面的支持。攜手巴魯夫，開啟卓、越之旅，立即探索我們的技術(shù)，讓創(chuàng)新yin領(lǐng)您的生產(chǎn)。

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