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顯微課堂 | 徠卡晶圓檢測顯微鏡 令人信服的技術細節(jié)

來源:廣州領拓儀器科技有限公司   2024年08月22日 10:35  


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晶圓或 LCD 和 TFT 的檢驗、過程控制和缺陷分析必須快速、精確并符合人體工學。LeicaDM8000M和 DM12000M晶圓檢測顯微鏡提供了一個創(chuàng)新而高性價的系統(tǒng)解決方案,幫助客戶充滿信心地應對現(xiàn)在和未來的檢驗挑戰(zhàn)。除了大視野和高分辨率光學部件,系統(tǒng)還采用了高度人性化的設計和全內(nèi)置的 LED 照明,可以從不同角度照亮樣品。




DM8000 M / DM12000 M 是一個模塊化大型平臺檢測顯微鏡平臺,可用于 8"/200 mm 和 12"/300 mm 樣品檢測。

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手動檢測版本

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電動版本




DM8000 M/DM12000 M

01

進入檢測領域的第一步

查看樣品表面的更多信息,在更短的研究時間內(nèi)改進產(chǎn)品質(zhì)量決策。

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  • 觀物鏡(Plan APO 0.7x)4倍與常規(guī)掃描物鏡的視野,用于快速瀏覽樣品

  • 紫外照明可獲得更高分辨率,可與斜照明技術相結合,從任意角度以高分辨率查看樣品,獲得更多樣品表面信息,且檢驗結果精確

  • 符合人體工程學的設計和自動化功能可實現(xiàn)快速、低疲勞操作,避免在重復性樣品檢測過程中注意力不集中

  • 通過手動、編碼和電動功能支持智能工作流程,加快樣品檢測速度


02

快速樣品詳覽

從用于快速瀏覽樣本的微距物鏡(Plan APO 0.7x)到用于觀察精細細節(jié)的微距物鏡。

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  • 使用 25 mm (FOV) 目鏡,可看到 35.7 毫米的樣品表面

  • 一目了然地看到在高倍放大鏡下 "看不見 "的宏觀缺陷,如材料樣品中的曝光缺失區(qū)域、鯊魚齒結構或流動結構

  • 需要檢測宏觀結構時,無需對樣品進行耗時的掃描

  • 只需切換到更高倍率(Obj. HC PL APO 150x/0.90 IVIS BD)即可看到最細微的細節(jié)


03

在更短時間內(nèi)獲得更多樣品表面信息

紫外照明可獲得更高分辨率,可與斜照明技術相結合,獲得更多樣品表面信息。

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  • 以高倍率(150 倍)的彩色模式,通過明場、暗場或DIC模式檢查樣品,以發(fā)現(xiàn)樣品缺陷

  • 通過激活紫外線照明來提高光學分辨率,以觀察精細的結構

  • 以高分辨率將對比度較低的表面轉(zhuǎn)化為清晰的結構拓撲圖,快速發(fā)現(xiàn)缺陷


04

通過智能功能支持工作流程

通過手動、編碼和電動功能支持智能工作流程,加快樣品檢測速度。

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  • 只需點擊一下按鈕,即可根據(jù)所選方法自動調(diào)整照明和對比度設置,從而節(jié)省時間并避免出錯

  • 集成的 LED 可見光和紫外照明可在幾秒鐘內(nèi)切換不同的照明技術,保證污染不會進入無塵間保持,確保潔凈室的清潔

  • 內(nèi)置聚焦探測器,用于檢測高反射表面,可快速、輕松地找到正確的聚焦位置

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