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電子掃描電鏡的測試原理

來源:上海蠻吉光電科技有限公司   2024年09月03日 15:11  
  電子掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像。具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點,故被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。
  電子掃描電鏡測試原理:
  電子槍發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點光源;點光源在加速電壓下形成高能電子束;高能電子束經(jīng)由兩個電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點,在透過最后一級帶有掃描線圈的電磁透鏡后,電子束以光柵狀掃描的方式逐點轟擊到樣品表面,同時激發(fā)出不同深度的電子信號。此時,電子信號會被樣品上方不同信號接收器的探頭接收,通過放大器同步傳送到電腦顯示屏,形成實時成像記錄。
  該產(chǎn)品以其高分辨率、大視場、立體成像以及分析能力出眾等優(yōu)勢,成為科研和工業(yè)領(lǐng)域常用的精密儀器。隨著技術(shù)的不斷進步,掃描電鏡的性能將更加*越,其應(yīng)用領(lǐng)域也將持續(xù)擴展,為人類深入探索微觀奧秘貢獻(xiàn)更大力量。

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