前言

高純氮化鋁是一種精細化學品，化學式為AIN，氮化鋁具有高強度、高體積電阻率、高絕緣耐壓、熱膨脹系數(shù)、與硅匹配好等特性，不但用作結構陶瓷的燒結助劑或增強相，尤其是在近年來大火的陶瓷電子基板和封裝材料領域，其性能遠超氧化鋁。它既是新一代散熱基板和電子器件封裝的理想材料，也可用于熱交換器、壓電陶瓷及薄膜、導熱填料等，應用前景廣闊。高純氮化鋁其中的雜質元素種類和含量直接影響其化工品的性能，因此，準確測定高純氮化鋁中的雜質元素含量是高純氮化鋁應用的重要保證。

目前，關于高純氧化鋁成分的分析方法有熒光分析法、 紅外光譜法和 X射線熒光光譜法等，這些方法幾乎都有分析程序長、操作較復雜、只可單元素測定的缺點。因此本文選用的鋼研納克Plasma 3000全譜掃描電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀，具有可同時測定多種元素、分析速度快，檢出限低并且精密度良好，動態(tài)范圍寬等特點。

圖1：高純氮化鋁

圖2：Plasma 3000

參照GB/T 6379.2-2004測量方法與結果的準確度(正確度與精密度) 第2部分，確定標準測量方法重復性與再現(xiàn)性的基本方法分別對同一樣品在重復條件下進行6次平行實驗得到精密度，其結果如表3所示：

結論

采用鋼研納克生產(chǎn)的Plasma 3000型電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀建立了測定高純氧化鋁中B 、Ca 、Mg 、Fe 、Si 元素含量的方法。該方法經(jīng)過樣品加標驗證，其測試結果在允許差范圍內，重復性均在要求范圍內，可實現(xiàn)快速準確測定高純氮化鋁中B 、Ca 、Mg 、Fe 、Si等元素含量。