前言

高純氮化鋁是一種精細(xì)化學(xué)品，化學(xué)式為AIN，氮化鋁具有高強(qiáng)度、高體積電阻率、高絕緣耐壓、熱膨脹系數(shù)、與硅匹配好等特性，不但用作結(jié)構(gòu)陶瓷的燒結(jié)助劑或增強(qiáng)相，尤其是在近年來大火的陶瓷電子基板和封裝材料領(lǐng)域，其性能遠(yuǎn)超氧化鋁。它既是新一代散熱基板和電子器件封裝的理想材料，也可用于熱交換器、壓電陶瓷及薄膜、導(dǎo)熱填料等，應(yīng)用前景廣闊。高純氮化鋁其中的雜質(zhì)元素種類和含量直接影響其化工品的性能，因此，準(zhǔn)確測(cè)定高純氮化鋁中的雜質(zhì)元素含量是高純氮化鋁應(yīng)用的重要保證。

目前，關(guān)于高純氧化鋁成分的分析方法有熒光分析法、 紅外光譜法和 X射線熒光光譜法等，這些方法幾乎都有分析程序長(zhǎng)、操作較復(fù)雜、只可單元素測(cè)定的缺點(diǎn)。因此本文選用的鋼研納克Plasma 3000全譜掃描電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀，具有可同時(shí)測(cè)定多種元素、分析速度快，檢出限低并且精密度良好，動(dòng)態(tài)范圍寬等特點(diǎn)。

圖1：高純氮化鋁

圖2：Plasma 3000

參照GB/T 6379.2-2004測(cè)量方法與結(jié)果的準(zhǔn)確度(正確度與精密度) 第2部分，確定標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方法重復(fù)性與再現(xiàn)性的基本方法分別對(duì)同一樣品在重復(fù)條件下進(jìn)行6次平行實(shí)驗(yàn)得到精密度，其結(jié)果如表3所示：

結(jié)論

采用鋼研納克生產(chǎn)的Plasma 3000型電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀建立了測(cè)定高純氧化鋁中B 、Ca 、Mg 、Fe 、Si 元素含量的方法。該方法經(jīng)過樣品加標(biāo)驗(yàn)證，其測(cè)試結(jié)果在允許差范圍內(nèi)，重復(fù)性均在要求范圍內(nèi)，可實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確測(cè)定高純氮化鋁中B 、Ca 、Mg 、Fe 、Si等元素含量。