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探針臺怎樣工作

來源:北京錦正茂科技有限公司   2024年10月25日 10:53  

探針臺將晶圓或芯片固定在安裝在平臺上的卡盤上,該平臺允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。

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機(jī)械手放置在平臺的平面上,并在機(jī)械手中插入探針臂和jian端。探頭jian端必須適合要執(zhí)行的測試程序。然后,用戶通過調(diào)整相應(yīng)的操縱器將探針jian端精確定位在設(shè)備內(nèi)的正確位置。然后通過降低壓板使探針與晶片接觸;現(xiàn)在可以測試該設(shè)備。對于具有多個(gè)器件的晶圓,在測試第一個(gè)器件后,可以升起壓板并將支撐晶圓的平臺移動(dòng)到下一個(gè)器件。重復(fù)定位探針jian端的過程,直到測試完所有必需的設(shè)備。這個(gè)過程都可以由操作員手動(dòng)完成,但如果載物臺和機(jī)械手是電動(dòng)的,并且顯微鏡連接到計(jì)算機(jī)視覺系統(tǒng),那么這個(gè)過程可以變成半自動(dòng)或全自動(dòng)。這可以提高探針臺的生產(chǎn)力和吞吐量,并減少運(yùn)行多個(gè)測試所需的勞動(dòng)力。

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