探針臺可以按照使用類型與功能來劃分，也可以按照操作方式來劃分成：手動(dòng)探針臺、半自動(dòng)探針臺、全自動(dòng)探針臺。

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手動(dòng)探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動(dòng)控制的，這意味著晶圓載物臺、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動(dòng)探針臺。該類探針臺的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要很少的培訓(xùn)，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點(diǎn)，非常適合研發(fā)人員使用。

全自動(dòng)探針臺相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)和模式識別undefined(自動(dòng)對準(zhǔn))。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試?？梢?4小時(shí)連續(xù)工作，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動(dòng)探針臺價(jià)格也是遠(yuǎn)比手動(dòng)/半自動(dòng)探針臺要昂貴。

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