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半導(dǎo)體解決方案 | 閥切換離子色譜法測(cè)定電子級(jí)雙氧水中微量陰離子含量

來源:青島盛瀚色譜技術(shù)有限公司   2024年10月31日 10:55  

電子級(jí)雙氧水是大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝中所必須的電子化學(xué)原料,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、超大集成電路裝配和加工過程中的清洗和腐蝕等方面。半導(dǎo)體硅材料純度較高,但在加工過程中,因各種原因會(huì)留下污染物,這些污染物如果不及時(shí)清理,就容易影響性能、精準(zhǔn)度,甚至報(bào)廢。電子級(jí)雙氧水對(duì)品質(zhì)要求、產(chǎn)品精度等要求都較高,通過閥切換離子色譜法可測(cè)定雙氧水中Cl-、SO42-、NO3-、PO43-等微量陰離子含量。


 

實(shí)驗(yàn)設(shè)備

 

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閥切換技術(shù)


閥切換技術(shù)是離子色譜中常用的在線技術(shù),主要用于基體的消除。一般是通過切換不同類型固定相的色譜柱,利用固定相選擇性的差異富集待測(cè)離子,消除基體的干擾;或者是在固定相類型相同的色譜柱之間進(jìn)行切換。


 

實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)

 

 

標(biāo)準(zhǔn)譜圖

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盛瀚閥切換技術(shù)可實(shí)現(xiàn)Cl-、SO42-、NO3-、PO43-的分離與檢測(cè)

 

 

線性譜圖

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以氯離子為例,標(biāo)準(zhǔn)曲線R值為0.999948,線性良好,儀器測(cè)試穩(wěn)定性高

 

樣品譜圖

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本方案根據(jù)樣品性質(zhì)進(jìn)行檢測(cè),使用盛瀚CIC-D300+雙通道離子色譜,通過閥切換系統(tǒng)去除基體干擾后,待測(cè)離子進(jìn)入離子色譜進(jìn)行分析,采用抑制電導(dǎo)檢測(cè)。從測(cè)試結(jié)果可以看出待測(cè)離子峰型良好,目標(biāo)峰的響應(yīng)信號(hào)明顯,目標(biāo)峰的分離度及檢出限均滿足標(biāo)準(zhǔn)要求,采用該方案可以對(duì)雙氧水中陰離子進(jìn)行準(zhǔn)確的定性定量分析。

 

 


 

盛瀚專業(yè)離子色譜方案專家,半導(dǎo)體行業(yè)解決方案將定期更新半導(dǎo)體材料、制造工藝、電路板雜質(zhì)等方面的檢測(cè)。

 

 

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盛瀚I(xiàn)C+場(chǎng)景化解決方案,將覆蓋食品、環(huán)境、水質(zhì)、醫(yī)藥等127個(gè)領(lǐng)域,為各行各業(yè)提供全面、精準(zhǔn)、高效解決方案,助推行業(yè)快速發(fā)展!

 



 

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