Holmarc 的電動(dòng)二維轉(zhuǎn)移系統(tǒng)用于制造高質(zhì)量的二維異質(zhì)結(jié)構(gòu)和扭曲層。該電動(dòng)系統(tǒng)配備了高分辨率三目顯微鏡和超長(zhǎng)工作距離物鏡，用于監(jiān)控轉(zhuǎn)移過(guò)程?；瑢⒐潭ㄔ谡婵諢峥ūP上，卡盤可在 X、Y、Z 和 θ 方向移動(dòng)。樣品溫度可控制在 RT 至 200oC。帶手動(dòng)傾斜平臺(tái)的電動(dòng) XYZ 沖壓平臺(tái)可幫助用戶將印章準(zhǔn)確地放置在基底上。這些高精度的 9 軸平臺(tái)在轉(zhuǎn)移過(guò)程中提供了最高的對(duì)齊自由度。系統(tǒng)將提供一個(gè)用戶友好型軟件，具有實(shí)時(shí)測(cè)量功能，用于控制轉(zhuǎn)移過(guò)程、樣品聚焦和顯微鏡物鏡選擇。此外，還提供了一個(gè)操縱桿控制臺(tái)，用于在通過(guò)雙筒望遠(yuǎn)鏡觀察樣品的同時(shí)控制轉(zhuǎn)移過(guò)程。

                                                                                               規(guī)格

1. 帶 Z 聚焦臺(tái)的三目顯微鏡（1 套）

光學(xué)系統(tǒng) 無(wú)限校正

觀察方法 明視野

反射照明（同軸或外顯鏡和兩個(gè)靈活的 LED 燈臂）

照明系統(tǒng) 高亮度白色 LED，強(qiáng)度可調(diào)

手動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、四重鼻托，帶精確的單擊止動(dòng)裝置

觀察頭 Siedentopf 三目觀察頭，30 度，48 - 75 mm IP 可調(diào)

目鏡 10 倍寬視場(chǎng)目鏡，F(xiàn)N = 20 毫米，度數(shù)可調(diào)

調(diào)焦 電動(dòng)按鈕和軟件控制

顯微鏡物鏡 長(zhǎng)工作距離 計(jì)劃 全色

放大倍率 5 X

數(shù)值孔徑 0.14

工作距離 40 毫米

目鏡視場(chǎng)角 4 毫米

相機(jī)視場(chǎng)角 1.14 mm x 0.856 mm

RMS 物鏡適配器 2 個(gè)

                                                                                              應(yīng)用

晶體管和傳感器

光電探測(cè)器

電池電極

拓?fù)浣^緣體

谷電技術(shù)

                                                                                             選配

1. LWD Plan Apo 10 倍顯微鏡物鏡

NA : 0.30

工作距離：34 毫米

目鏡視場(chǎng)角：2 毫米

相機(jī)視場(chǎng)角：0.57 毫米 x 0.428 毫米

2. LWD Plan Apo 20X 顯微鏡物鏡

NA : 0.35

工作距離：29 毫米

目鏡視場(chǎng)角：1 毫米

照相機(jī)視場(chǎng)角：0.285 毫米 x 0.214 毫米

3. LWD Plan Apo 50X 顯微鏡物鏡

NA : 0.50

工作距離：17 毫米

目鏡視場(chǎng)角：0.4 毫米

照相機(jī)視場(chǎng)角：0.114 毫米 x 0.0856 毫米

                                                                                                相機(jī)規(guī)格

光學(xué)格式 1/2.5" CMOS

有源成像器尺寸 5.70 毫米 x 4.28 毫米

有效像素 2592 x 1944（5 百萬(wàn)像素）

像素尺寸 2.2 x 2.2 um

快門類型 電子滾動(dòng)快門 (ERS)

幀頻 全分辨率 - 7 幀/秒，640 * 480 (BIN) - 26.7 幀/秒

光譜響應(yīng) 380 - 650 納米

曝光時(shí)間 0.072 毫秒 - 3000 毫秒

圖像格式 RAW、BMP、JPG、PNG

工作溫度 -30oC 至 +70oC

靈敏度 1.76V / 勒克斯 - 秒（550 納米）

全分辨率 15 幀/秒時(shí)的功耗為 381 mW

接口 USB 2.0

鏡頭卡口 C-卡口

尺寸 44 x 44 x 39 毫米

2.   帶加熱器和真空吸盤的 XYZ 樣品平臺(tái)

    電動(dòng) XYZ 平臺(tái)

每個(gè) XYZ 行程 25 毫米

XYZ 驅(qū)動(dòng)精密導(dǎo)螺桿，帶步進(jìn)電機(jī)

導(dǎo)螺桿間距 0.4 毫米

XYZ 分辨率 7.8 nm（開環(huán)）

XYZ 分辨率 1um （閉環(huán)）

導(dǎo)軌 精密 V 形槽導(dǎo)軌

結(jié)構(gòu) 鋁合金

表面黑色陽(yáng)極氧化處理

XYZ 樣品平臺(tái)的軟件控制

XY 的操縱桿控制和 Z 軸的按鈕控制

電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

頂板直徑 75 毫米

網(wǎng)格為 12.5 毫米的 M6 錐孔

可 360 度旋轉(zhuǎn)

精密蝸輪

雙軸承設(shè)計(jì)

分辨率 0.01 度

精度 0.01 度（帶編碼器

驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)

材料 鋁

黑色陽(yáng)極氧化處理

真空吸盤和加熱器，帶溫度控制器

樣品板直徑 40 毫米

溫度范圍 RT - 200oC

溫度增量 1oC

PID 控制器

用于固定樣品的真空裝置

真空泵

溫度和真空軟件控制

3. 帶手動(dòng)傾斜平臺(tái)的電動(dòng) XYZ 沖壓平臺(tái)（1 臺(tái)）

每個(gè) XYZ 行程 25 毫米

XYZ 驅(qū)動(dòng)精密導(dǎo)螺桿，帶步進(jìn)電機(jī)

導(dǎo)螺桿間距 0.4 毫米

XYZ 分辨率 7.8 nm（開環(huán)）

XYZ 分辨率 1um （閉環(huán)）

導(dǎo)軌 精密 V 形槽導(dǎo)軌

結(jié)構(gòu) 鋁合金

表面黑色陽(yáng)極氧化處理

XYZ 平臺(tái)的軟件控制

XY 的操縱桿控制和 Z 軸的按鈕控制

傾斜平臺(tái)驅(qū)動(dòng) 手動(dòng)導(dǎo)螺桿

結(jié)構(gòu) 鋁合金

表面黑色陽(yáng)極氧化處理

玻璃/樣品架