MTCS2601 傳感器由基于 MEMS 技術的 4 個 Ni-Pt 電阻組成的微機械的熱電導率傳感器。此傳感器安裝在小型的 SMD 封裝內。同時結合了低功耗 CMOS 標準集成電路，非常適合 OEC廠商的泄漏檢測，或者基于帕拉尼原理的真空度檢測，需要超低功耗，長壽命和免維護的產(chǎn)品。適用于惡劣環(huán)境下初級壓力控制，需要功耗和尺寸的限制，或者是氣體泄漏或者水分，或者侵入。

二、 熱導式氣體傳感器 MTCS2601特點：

MEMS 傳感器遵循沒有化學反應的物理皮拉尼原理，基于氣體熱導率變化對于壓力

測量范圍：0.0001~1000mbar，可重復性
硅晶片上有加熱電阻，并且有優(yōu)異的溫度補償
超小的傳感器氣體體積例如<0.1cm3
穩(wěn)定和長的 MTBF（>30000 小時） ，基于物理阻抗感應原理
超低功耗消耗（<6mW）,由于使用了帶小加熱元件的 MEMS 傳感器
超快響應時間<50mS
對安裝位置不敏感
可以使用在串擾氣體環(huán)境中

與一個簡單恒定的溫度電路兼容

三、 熱導式氣體傳感器 MTCS2601應用：

1.作為氣體濃度測量傳感器的應用：
室內外空氣中H2、CH4、CO2、LPG氣體監(jiān)測
•食品工業(yè)的過程控制（例如碳酸飲料中二氧化碳的測量）
•用于燃料電池的氫傳感器
•沼氣廠中CH4的測量
•檢測制冷氣體（CFC、PFC、HFCs等）
•電子產(chǎn)品（例如潛水設備的氦氣控制）
•呼吸系統(tǒng)監(jiān)測（醫(yī)療）
•控制在惰性氣體下運行的封閉系統(tǒng)中的泄漏（例如應變計、硬盤質量控制等）

2.作為真空度/壓力測量傳感器應用：
•固定和便攜式分析儀器
•封閉系統(tǒng)（如動能儲存系統(tǒng)）中的泄漏檢測和主要真空控制
•半導體行業(yè)使用的真空設備
•食品工業(yè)（真空包裝機）
一般來說，皮拉尼微型傳感器占據(jù)的面積小，能夠集成到任何需要其控制的主要真空系統(tǒng)中（例如，密封控制、潛在腐蝕或意外開啟）

四、 熱導式氣體傳感器 MTCS2601推薦的操作條件

MGSM2601 有 4 個分開連接的電阻：Rm1 和 Rm2 坐落在薄膜上和用于加熱/測量； Rt1 和Rt2 坐落在傳感器的“冷部分”和用于溫度測量和補償。對于在低真空的壓力測量，恒定的
過溫度操作模式是被推薦的。 由于在一定范圍內的壓力傳導率改變是重要的， 能快速的取決于應用，方法避免傳感器的損壞。

儲存條件
溫度： -40~100°C
濕度： 0~100%RH，非冷凝

機械壓力測試
重力加速度：1000g, 0.2mS, 半正弦波
振動：10g RMS，正弦波：20~2000Hz