風淋室在現(xiàn)今而言，半導體工業(yè)愈來愈興盛情況下，其清凈室（cleanroom）的設計也就很重要，但是

在目前能源危機的陰影下，其　cleanroom　的能源效率在設計時是很重要的考慮因素，


所以在以下的報告中，將提出一些有關這方面的探討。  


　達到設計及管理 Cleanroom 的能源效率的方法約有 :  


1．將風管靜壓減至zui小-使用zui小的風扇馬達。
2．用空氣干燥的除濕機以代替鹵水供給至盤管-作濕度控制。
3．設定調溫器及風扇循環(huán)時間。
4．
5．正確互動地控制定序的指令及其它可達到正確尺寸和操作cleanroom之設備。  


　除了這些方法之外，風淋室其日常的保養(yǎng)工作也是很重要的包含 :  


（1）須時常更換前置過濾器  
（2）須適時的更換 HEPA filter 來節(jié)省風扇運轉費用  
（3）冷卻水塔和其它適合操作的狀況  
　　這些也可使 cleanroom 的能源效率維持在*化。  


　　以上所有這些方法，都是為了節(jié)省 cleanroom 能源使用的總數(shù)。變頻控制除了應用在馬達啟

動外，zui主要能被應用到排氣風扇，外氣風扇，控制*的 transducers 經由易變的入口體積以達

到保持cleanroom 穩(wěn)定的壓力。  


　　很多 cleanroom 的設計在建物容積及排除的總熱條件下，相當于大型的商業(yè)建筑物，也就是

說一個20 樓的辦公大樓的操作，被濃縮成一樓的cleanroom ，但是所排除的總熱是相當?shù)摹?nbsp; 


　　cleanroom　工業(yè)必須依顧主不同的需求，可以有各種能源效率的設計，且可根據(jù)事前計算，

以設計cleanroom　的清凈度。事實上，大部份較大的清凈室的典型設計一是用一冰水機裝置

來排除自風扇馬力的機械熱負荷。  


　　在省能的空調中，工程師能夠設計現(xiàn)代化的工程， 一大規(guī)模的辦公大樓不必為了能源法規(guī)來用

這些設備，而是為了滿足大型工業(yè)委托設計的能源效率。  


　　對箱型氣冷冰水主機而言， 包括一些螺旋式壓縮機、卸載、復合式卸載的往復式壓縮機和復合

式單速或雙速的密封型壓縮機，很少是離心設備的，其主要原因是價格。 顧主都希望用較少的錢去

買個冰水機并附有電子式控制， 可用復式的冷凝器風扇來使整個循環(huán)適當?shù)木S持壓力頭。  


　　有效能源的　cleanroom　可采用吸收式冰水機，利用天然瓦斯來產生冰水，且配合電的操作

來混合產生冰水，吸收式冰水機系統(tǒng)，本身用電量極少， 只有循環(huán)水泵、冷凍抽水機、冰水泵須用

電，能源缺乏的情形下，cleanroom 若想省能可以用吸收式冰水機。  


　　還有一種則是使用儲冰系統(tǒng)，可以利用離峰時段用電在此期間冷卻循環(huán)做儲冰（儲存大量的冰塊

），在利用尖峰時段，將儲存的冰塊溶化產生冰水， 再送至 cleanroom 區(qū)間去冷卻，這種方式也可

達到有效能源的cleanroom，用儲冰的方式不只可省電，且經?？稍试S較小的機械系統(tǒng)的安裝。