Extorr VAHCK150V1帶減壓旁路高傳導閥描述:
具有一個或兩個減壓旁路的高電導閥由 304 不銹鋼制成,
具有 2 個 DN 40 CF、2 個 ? 英寸 ConFlat (CF) 法蘭。
每個減壓旁路都有一個 Swagelok 旁路閥和一個流量控制孔。高電導閥采用彈性體閥瓣密封。
閥門的真空側(cè)連接到 RGA 室,高壓側(cè)連接到客戶的工藝室。
在雙旁路模型中,當所有三個閥門都關(guān)閉(Hi-C 和 2 個 Swagelok)時,RGA 與工藝室隔離。
打開任一減壓閥都允許 RGA 通過流量限制孔對客戶的高壓工藝進行采樣。
孔的尺寸可以根據(jù)在不同壓力下運行的工藝進行調(diào)整。
如果工藝室基準壓力足夠低,高電導閥可以打開以測量背景氣體或檢查工藝室的泄漏。
不銹鋼安裝硬件包括用于 CF 法蘭的銅墊圈和用于旁通閥的額外 VCR 墊圈。
閥門組件經(jīng)過泄漏測試,每個旁通閥都配有 1 個流量控制孔。Extorr VAHCK150V1帶減壓旁路高傳導閥規(guī)格:
材料
304 不銹鋼
重量
6磅。
最高溫度額定值
可烘烤至 150 °C
高傳導閥
彈性體 O 型圈密封
法蘭尺寸
2-3/4 英寸外徑 ConFlat 法蘭,1.5 英寸管外徑
世偉洛克 (Swagelok) 閥門連接尺寸
? 英寸 VCR,帶流量控制孔,尺寸符合客戶要求
Extorr帶減壓旁路高傳導閥型號選擇:
Extorr VAHCK150V1
Extorr VAHCK150V2
VAHCK150V1
高電導閥,配有 1 個波紋管密封 Swagelok 旁通閥和 2 個 ConFlat 至 VCR 適配器,每個適配器有 2 個臂(一個臂已插入),12 個 ?-28 螺母和墊圈,1 個用于旁通閥的流量控制孔口和 2 個銅墊圈
VAHCK150V2
高電導閥,配有 2 個波紋管密封 Swagelok 旁通閥和 2 個 ConFlat 至 VCR 適配器(每個適配器有 2 個臂)、12 個 ?-28 螺母和墊圈、2 個用于旁通閥的流量控制孔和 2 個銅墊圈
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