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美國MKS控制閥的特性與功能一定要知曉

來源:東莞市廣聯(lián)自動化科技有限公司   2025年03月07日 09:15  

      大家對于美國MKS控制閥的特性與功能一定要知曉,接下來為大家講述一下要點,如述:

美國MKS控制閥的特性主要包括以下幾點:

精確控制:上游流量控制閥是比例控制閥,設(shè)計用于精確控制過程中上游的氣流。


減少污染和腐蝕:使用保證外部泄漏率小于1x10-10atmcc/sec(He)的金屬密封件以避免污染和腐蝕。


高溫運行能力:148高溫閥可在150°C的過程溫度下運行。


調(diào)節(jié)功能:當與MKS控制器和適當?shù)牧髁總鞲衅饕黄鹗褂脮r,248D閥門可調(diào)節(jié)氣體流量,同時保持準確和精確的壓力或流量。


易維護性:248D閥門的節(jié)流孔無需特殊工具即可輕松調(diào)節(jié)或更換。


廣泛的流量范圍:滿量程流量范圍為10-50,000標準立方厘米,最小可控流量根據(jù)不同情況分別為0.2%滿量程(小于100sccm)、0.1%滿量程(100至10,000sccm)和小于2%滿量程(大于10,000sccm)。


密封材料多樣性:提供多種密封材料選項,如Viton、氯丁橡膠、Buna-N或Kalrez,以適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。


工作溫度范圍:工作溫度范圍為-10至60°,適應(yīng)多種環(huán)境條件。


以上特性使得美國MKS控制閥成為半導(dǎo)體器件生產(chǎn)、平板顯示器、光學(xué)儲存介質(zhì)、玻璃鍍膜、光電產(chǎn)品等生產(chǎn)設(shè)備及制藥和醫(yī)學(xué)成像設(shè)備的理想選擇。


美國MKS控制閥是一種精密的流量控制設(shè)備,主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)、平板顯示器、光學(xué)儲存介質(zhì)等領(lǐng)域。


美國MKS控制閥的功能主要包括以下幾個方面:

精確控制氣流:MKS控制閥能夠精確控制過程中上游的氣流,這對于維持穩(wěn)定的工藝環(huán)境至關(guān)重要。


減少污染和腐蝕:使用金屬密封件以避免污染和腐蝕,確保了產(chǎn)品的純凈度和延長了設(shè)備的使用壽命。


高溫運行能力:MKS高溫閥可在150°C的過程溫度下運行,適應(yīng)了更廣泛的工業(yè)應(yīng)用需求。


調(diào)節(jié)和更換便利性:MKS控制閥的節(jié)流孔無需特殊工具即可輕松調(diào)節(jié)或更換,這使得維護和調(diào)整變得更加便捷。


控制性能優(yōu)化:通過兩個螺旋彈簧使電樞在閥體內(nèi)居中并抵抗磁升力,最大限度地減少了摩擦和遲滯,從而優(yōu)化了控制性能。


適應(yīng)不同流量范圍:MKS控制閥提供了廣泛的流量范圍,能夠滿足不同工藝過程的需求。


與控制器的兼容性:MKS控制閥可以與適當?shù)腗KS控制器和壓力傳感閥連接,形成一個完整的控制系統(tǒng)。


綜上所述,美國MKS控制閥以其精確的流量控制、高溫運行能力和與控制器的良好兼容性等特點,在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮著重要作用。


希望以上內(nèi)容對大家有所幫助,歡迎致電咨詢!



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