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原裝供應Osaka Vacuum大阪真空磁浮軸承式復合分子泵TG1300M

來源:北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司   2025年03月21日 09:35  
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■ 靈活的安裝姿勢 ■ 緊湊的尺寸 ■ 節(jié)能 ■ 快速啟動和停止 ■ 維修電話 ■ 低振動 ■ 免調(diào)音 ■ 自動校準 ■ 轉(zhuǎn)速控制 ■ 大流量排氣 ■ 各種通信規(guī)格 ■符合安全標準 NRTL/SEMI-S2/CE ?半導體制造 ?電子槍排氣、離子源排氣 ?FPD 制造 ?表面處理、表面改性 ?各種電子元件的制造 ?分析、檢測設(shè)備 ?管材、光學元件的制造 ?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究 ?熱處理 ?研發(fā)



進氣法蘭VG200
CF200
ISO-B200 型
抽速N2 (升/秒)1300
N2(帶保護網(wǎng)) (升/秒)1230
H2 (升/秒)1200
最大壓縮比N21×108 
H21,5×10%4 
極限壓力VG/ISO-B/CF (帕)<1×10-6 / <1×10-7 
VG?ISO-B/CF (托)<7.5×10-9 / <7.5×10-10
最大氣體流速※1N2 (SCCM)3000
啟動時間(分鐘)4~5
停機時間(分鐘)4~5
允許的輔助壓力(Pa / Torr)500 / 3.8 
推薦的輔助泵(升/分鐘)≧250
安裝姿勢自由
重量 (kg) VG/ISO-B/CF34 / 42 
控制器類型TC010MA
特殊規(guī)格

-化學型
- 對應反應產(chǎn)物 TG-MI
- 超低振動規(guī)格 TG-ML
- 超高真空型 TG-MU
- 耐輻射型 TG-MR


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