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德國(guó)馬爾薄膜測(cè)厚儀的結(jié)構(gòu)組成和優(yōu)點(diǎn)
德國(guó)馬爾薄膜測(cè)厚儀一般是由兩個(gè)激光位移傳感器上下對(duì)射的方式組成的，上下的兩個(gè)傳感器分別測(cè)量被測(cè)體上表面的位置和下表面的位置，通過(guò)計(jì)算得到被測(cè)體的厚度。德國(guó)馬爾薄膜測(cè)厚儀的優(yōu)點(diǎn)在于它采用的是非接觸的測(cè)量，相對(duì)接觸式測(cè)厚儀更精準(zhǔn)，不會(huì)因?yàn)槟p而損失精度。相對(duì)超聲波測(cè)厚儀精度更高。相對(duì)X射線測(cè)厚儀沒(méi)有輻射污染。
德國(guó)馬爾薄膜測(cè)厚儀是基于三角測(cè)距原理，使用集成式的三角測(cè)距傳感器測(cè)量出從安裝支架到物體表面的距離，進(jìn)而根據(jù)支架的固定距離計(jì)算得出物體的厚度。
激光束在被測(cè)物體表面上形成一個(gè)很小的光斑,成像物鏡將該光斑成像到光敏接收器的光敏面上,產(chǎn)生探測(cè)其敏感面上光斑位置的電信號(hào)。當(dāng)被測(cè)物體移動(dòng)時(shí),其表面上光斑相對(duì)成像物鏡的位置發(fā)生改變,相應(yīng)地其像點(diǎn)在光敏器件上的位置也要發(fā)生變化,進(jìn)而可計(jì)算出被測(cè)物體的實(shí)際移動(dòng)距離。
兩個(gè)激光位移傳感器的激光對(duì)射，被測(cè)體放置在對(duì)射區(qū)域內(nèi)，根據(jù)測(cè)量被測(cè)體上表面和下表面的距離，計(jì)算出被測(cè)體的厚度。
德國(guó)馬爾薄膜測(cè)厚儀的基本組成是激光器、成像物鏡、光電位敏接收器、信號(hào)處理機(jī)測(cè)量結(jié)果顯示系統(tǒng)。激光束在被測(cè)物體表面上形成一個(gè)亮的光斑，成像物鏡將該光斑成像到光敏接收器的光敏上，產(chǎn)生探測(cè)其敏感面上光斑位置的電信號(hào)。當(dāng)被測(cè)物體移動(dòng)時(shí)，其表面上光斑相對(duì)成像物鏡的位置發(fā)生改變，相應(yīng)地成像點(diǎn)在光敏器件上的位置也要發(fā)生變化，兩者之間的關(guān)系：
測(cè)厚計(jì)算公式
式中：
X、X`——分別是被測(cè)物位移和光敏器件上像斑的位移；
L、L`、α——是系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)參數(shù),是根據(jù)具體使用要求而選定的。
由此可見(jiàn)精確地測(cè)量X`就可以得到被測(cè)物體的位移量，這就是三角法測(cè)量位移的原理。
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