氣體塵埃粒子計數器校正所需設備、基本原理和基本步驟

一、校正所需設備

1、100級潔凈房或潔凈臺

2、一臺用于作對比，尚在校正期內的塵埃粒子計數器

3、各粒徑的標準粒子

4、可產生脫離水（DI水）的純水系統(tǒng)或類似裝置

5、標準粒子氣體產生器

6、其它普通電器

二、校正的基本原理

標準粒子通過255粒子產生器由液狀霧化成氣體，并由其內置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路，這時，將兩臺相同塵埃粒子計數器同時或先后對取樣管進行抽樣測試，并比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內，認為合格。如果不同型號的粒子計數器，一定要弄清楚其流速，取樣時間，取樣次數等參數，并且，還要明白怎樣理解其測試結果。

三.、校正的基本步驟：

現假設對一臺常見的Royco HH200作校正

1、首先，要清楚Royco 323和HH200A有何差別，其測試原理一樣，但Royco 323流速為1CFM（立方英尺/分鐘），而Royco HH200則為0.1CFM。

2、將潔凈臺開機，工作半小時，其間內也打開Royco 323和Royco HH200，讓其預熱半小時。

3、準備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。

4、將配好的標準液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。

5、設置Royco323和Royco HH200的基本參數

（1）取樣時間都設置為00：01：00

（2）取樣次數都設置03

（3）取樣模式都設置為Auto

（4）間隔時間都設置為00：00：05

（5）讀數模式都設置為Cumulative

注：以上設置相同，因其流速有10倍差，故Royco323測試結果會是Royco HH200的10倍。

6、打開255電源，調節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調至噴嘴閥處呈氣霧出現，干燥氣體流速計約60SCFH時后，保持其工作狀態(tài)。

7、讓Royco 323和Royco HH200同時工作，看其三次的平均結果，若在20%以內，視為合格。

8、拆下脫原子瓶，重新滴入其它標準粒子，重復該測試。

9、以上校正只是對比校正，尚可用萬用表對其基本參數測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。