OKANO（岡野）真空計

OKANO（日本岡野株式會社）是專業(yè)真空測量設備制造商，其真空計以高精度、寬量程、強抗污染能力著稱，廣泛應用于半導體、真空鍍膜、科研實驗等領域。

1. 核心技術優(yōu)勢

• 抗污染設計：

• 電離規(guī)采用抗氧化陰極（IG-500A），壽命延長3倍。

• 電容規(guī)（CG系列）全金屬密封，耐酸堿腐蝕。

• 智能校準：

• 自動零點校正（GP系列），減少溫度漂移影響。

• 數字補償算法（復合真空計），提升交叉量程精度。

• 快速響應：

• 熱規(guī)（GP系列）響應時間＜0.5秒，適用于動態(tài)真空控制。

2. 行業(yè)解決方案

• 半導體制造：

• 刻蝕設備真空度實時監(jiān)測（IG-300A，防等離子干擾）。

• 光學鍍膜：

• 電子槍蒸發(fā)源壓力控制（復合真空計，量程無縫切換）。

• 科研實驗：

• 同步輻射裝置超高真空（10?? Pa ，配分子泵組）。

3. 使用與維護要點

• 安裝位置：

• 避免直接對準泵口或氣流沖擊位置（防止顆粒污染傳感器）。

• 校準周期：

• 皮拉尼規(guī)每12個月校準，電離規(guī)每6個月（高精度應用需更頻）。

• 故障排查：

• 讀數異常時先檢查電纜連接（電離規(guī)需預熱10分鐘）。