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關于隔膜式干泵的詳細介紹

來源:玉崎科學儀器(深圳)有限公司   2025年05月16日 09:02  
以下是關于隔膜式干泵的詳細介紹:

工作原理

隔膜式干泵利用隔膜的往復運動進行排氣,當偏心軸(轉(zhuǎn)子)旋轉(zhuǎn)時,動力通過連桿傳遞至隔膜,隔膜反復上下運動,形成將氣體從進氣口輸送到排氣口的機構(gòu),實現(xiàn)氣體的抽吸和排出。在這個過程中,每個氣口都附有閥門,確??諝馐冀K沿同一方向流動。

結(jié)構(gòu)特點

  • 無油設計:氣體接觸區(qū)域不使用油或液體,避免了油蒸氣對工作環(huán)境的污染,可實現(xiàn)清潔排氣,特別適合需要無油清潔氣氛的應用,如半導體制造、電子設備生產(chǎn)等領域。

  • 結(jié)構(gòu)簡單:主要由隔膜、偏心軸、連桿、閥門等部件組成,整體結(jié)構(gòu)相對簡單,這使得設備的維護和保養(yǎng)較為方便,降低了維修成本和停機時間。

  • 密封性好:隔膜的良好密封性能,有效防止了氣體泄漏,保證了泵的抽氣效率和真空度。

性能特點

  • 清潔真空:能夠提供無油、清潔的真空環(huán)境,滿足對真空度要求較高且需要避免油污染的工藝需求,如光學鍍膜、真空鍍膜、電子束焊接等。

  • 低噪音和低振動:運行過程中產(chǎn)生的噪音和振動較小,有利于營造安靜的工作環(huán)境,減少對周圍設備和人員的影響。

  • 大氣壓力下可運作:可以在大氣壓力下啟動和運行,不需要額外的輔助設備來達到初始真空度,使用較為便捷。

  • 抽氣能力有限:由于隔膜的彈性變形能力有限,隔膜式干泵通常只能實現(xiàn)相對較低的抽速,且難以獲得高真空度,一般適用于對真空度要求不是的場合。

  • 存在 “死區(qū)”:泵內(nèi)存在一個被稱為 “死區(qū)” 的容積,此處的氣體無法被移至排氣管路,隨著進氣壓力降低,流入的新氣體量越來越少,導致容積效率持續(xù)降低,限制了泵的壓縮比和最終真空度。

應用領域

  • 半導體與電子工業(yè):用于 IC 的晶圓吸附裝置、真空拉鏈、薄膜吸附等工藝,為半導體制造過程提供清潔的真空環(huán)境,避免芯片受到油污污染。

  • 醫(yī)療領域:如醫(yī)療機械中的真空鑷子、血液分析設備、牙科設備等,可提供無油的真空源,確保醫(yī)療操作的安全性和可靠性。

  • 實驗室研究:常用于真空排氣、真空濃縮、過濾、脫氣、消泡等實驗過程,為科研人員提供穩(wěn)定、清潔的真空條件,保證實驗結(jié)果的準確性。

  • 包裝機械:在食品、藥品等行業(yè)的包裝過程中,用于真空包裝,延長產(chǎn)品的保質(zhì)期,防止產(chǎn)品氧化和變質(zhì)。

  • 光學機械:如光學鍍膜、鏡片制造等工藝中,需要高精度的真空環(huán)境,隔膜式干泵可滿足其對清潔真空的要求,確保光學元件的質(zhì)量和性能。


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