8921SC13型美國BIRD油射線RF終止負載以實現(xiàn)最大的過程可重復(fù)性和一致性，現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要精確的RF功率調(diào)節(jié)和控制。確保準(zhǔn)確且可重復(fù)的RF電源到腔室的關(guān)鍵組件是RF發(fā)電機的校準(zhǔn)，調(diào)節(jié)和監(jiān)視?，F(xiàn)在，Bird提供超穩(wěn)的低VSWR負載，可快速，精確地測量發(fā)電機功率輸出時，與精確的功率傳感器（例如Bird 4020系列）一起使用。 8921SC13不僅提供較低的VSWR，而且在臨界頻率下VSWR的VSWR總變化少于0.1 dB。由于校準(zhǔn)不同的時間長度，不需要負載熱身或重復(fù)性風(fēng)險。這可以大程度地減少與此校準(zhǔn)相關(guān)的錯誤，并控制更關(guān)鍵的過程變量之一。

  8921SC13型美國BIRD油射線RF終止負載產(chǎn)品規(guī)格如下：

電力等級5 kW頻率范圍和VSWRDC至28 MHz @ 1.1最大。

VSWR小于1.05：1阻抗ω50（名義）VSWR穩(wěn)定性<0.1 dB，穩(wěn)定頻率下的額定功率從0到100％穩(wěn)定頻率13.56 MHz±10 kHz連接器“ QC"類型LC（女性） - 通常提供互鎖熱開關(guān) - 可選通常關(guān)閉。在236°C（457°F）處打開熱開關(guān)等級115 VAC，10 A

230 VAC，5 A溫度范圍操作： +5至+40°C（+41至+104°F）

存儲： - 40至+45°C（ - 40至40至+113°F）高度1520 m（5000英尺）濕度95％的無調(diào)最大。冷卻方法油介電和對流電流方面32.8“ x 9.5" x 26.9“

832 x 241 x 681 mm重量126磅。

57公斤結(jié)束黑色環(huán)氧樹脂