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泓川科技LT-R 系列白光干涉測厚儀:納米級(jí)精度丈量新維度

來源:無錫泓川科技有限公司   2025年05月26日 06:29  

      在高DUAN制造與精密檢測領(lǐng)域,膜層厚度的精準(zhǔn)把控直接決定產(chǎn)品性能與工藝水平。泓川科技重磅推出的LT-R 系列反射膜厚儀(白光干涉測厚儀),以光學(xué)技術(shù)革新智能算法突破為核心,為半導(dǎo)體、顯示面板、光伏能源等行業(yè)提供兼具納米級(jí)精度復(fù)雜環(huán)境適應(yīng)性的膜厚測量解決方案。以下從技術(shù)特性、性能參數(shù)、應(yīng)用場景及選型指南等維度,全fang位解析這款工業(yè)級(jí)精密測量利器。


泓川科技LT-R 系列白光干涉測厚儀:納米級(jí)精度丈量新維度


一、技術(shù)革新:寬光譜光源與抗干擾系統(tǒng)的雙重突破


▌組合光源技術(shù):全光譜覆蓋,解析多層膜結(jié)構(gòu)
  • 光源配置:采用氘燈(190-400nm 紫外光)與鹵素?zé)簦?50-2500nm 可見光 / 近紅外光)組合方案,光譜范圍橫跨紫外到近紅外,覆蓋 190-2500nm 全波段。

  • 測量邏輯:通過寬光譜反射光干涉信號(hào)分析,結(jié)合高效模型擬合算法,可同步反演單層 / 多層透明膜層厚度光學(xué)常數(shù)(如折射率),尤其適用于 LCD 液晶層、光學(xué)鍍膜等復(fù)雜結(jié)構(gòu)。

泓川科技LT-R 系列白光干涉測厚儀:納米級(jí)精度丈量新維度


▌抗干擾設(shè)計(jì):硬件與算法協(xié)同,保障極DUAN環(huán)境穩(wěn)定性
  • 硬件級(jí)降噪:選用高靈敏度、低噪聲光學(xué)元器件,從信號(hào)采集端抑制干擾源。

  • 算法級(jí)抗擾:DU創(chuàng)多參數(shù)反演算法,可有效抵消振動(dòng)、溫濕度波動(dòng)等外部擾動(dòng),確保測量結(jié)果重復(fù)性≤0.05nm。

  • 結(jié)構(gòu)優(yōu)化:緊湊型光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì),支持狹小空間安裝(如生產(chǎn)線夾縫),且防護(hù)等級(jí)達(dá) IP40,適應(yīng)粉塵、電磁干擾等工業(yè)環(huán)境。

泓川科技LT-R 系列白光干涉測厚儀:納米級(jí)精度丈量新維度


▌智能軟件生態(tài):從數(shù)據(jù)采集到二次開發(fā)的全流程支持
  • WLIStudio 上位機(jī)軟件:集成暗校準(zhǔn)、反射率歸一化、光源特性補(bǔ)償?shù)裙δ?,?shí)時(shí)呈現(xiàn)測量曲線與厚度數(shù)據(jù),兼容多格式導(dǎo)出。

  • WLI-SDK 開發(fā)包:開放底層數(shù)據(jù)接口,支持用戶自定義測量邏輯,無縫集成至自動(dòng)化檢測系統(tǒng)或 MES 平臺(tái)。





二、性能參數(shù):納米級(jí)精度定義行業(yè)新標(biāo)準(zhǔn)

核心指標(biāo)彌散光斑型(LTP-T10-UV-VIS)聚焦光斑型(LTVP-TVF)
測量范圍20nm~50μm(n=1.5 時(shí))同左
重復(fù)精度0.05nm(100nm SiO?標(biāo)準(zhǔn)件,1000 次采樣)同左
準(zhǔn)確度<±1nm 或 ±0.3%(取最大值)同左
光源波長190-2500nm(氘燈 + 鹵素?zé)艚M合)同左
測量角度±10°(建議恒定)±5°(建議恒定)
光斑特性10mm 距離時(shí)直徑約 4mm(大面積覆蓋)直徑約 200μm(微米級(jí)聚焦)
安裝距離5~10mm(靈活適配)軸向 55mm±2mm / 徑向 34.5mm±2mm(需精準(zhǔn)定位)
物理尺寸φ6.35×3200mm(含線),重 190gφ20×73mm(探頭),附加鏡 49g
環(huán)境耐受10~40℃,20%-85% RH(無冷凝)同左


三、功能亮點(diǎn):多場景適配的工業(yè)級(jí)測量方案


▌核心功能矩陣
  1. 多層膜厚同步測量:支持 2-5 層透明 / 半透明膜結(jié)構(gòu)(如 OLED 有機(jī)層、PCB 阻焊層)的厚度與折射率解算,單次測量即可完成全層分析。

  2. 硬質(zhì)薄膜兼容:針對陶瓷涂層、電鍍層等硬質(zhì)材料,優(yōu)化光學(xué)反射模型,避免接觸式測量損傷風(fēng)險(xiǎn)。

  3. 非接觸式檢測:純光學(xué)反射原理,適用于柔性材料(如鋰電池電極涂布層、生物芯片薄膜),杜絕物理接觸形變誤差。


▌行業(yè)應(yīng)用圖譜
  • 半導(dǎo)體與光伏

    • 硅片 Poly 層厚度監(jiān)控,光刻膠膜厚均勻性檢測;

    • 太陽能電池減反膜、鈍化層厚度測量,助力效率提升。

  • 顯示面板制造

    • LCD 液晶盒厚、偏光片膜層測量,保障顯示對比度;

    • OLED 蒸鍍層厚度實(shí)時(shí)監(jiān)測,優(yōu)化發(fā)光均勻性。

  • 精密涂布與噴涂

    • 汽車油漆涂層厚度檢測,電子器件防水膜均勻性分析;

    • 鋰電池極片涂布厚度在線測量,提升電池一致性。

  • 科研與特種領(lǐng)域

    • 納米材料研發(fā)(如石墨烯薄膜)、光學(xué)器件鍍膜工藝優(yōu)化;

    • 生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域(如細(xì)胞培養(yǎng)支架涂層厚度分析)。


泓川科技LT-R 系列白光干涉測厚儀:納米級(jí)精度丈量新維度


四、選型指南:精準(zhǔn)匹配場景需求的兩大方案

應(yīng)用場景推薦探頭類型核心優(yōu)勢安裝要點(diǎn)
大面積快速掃描彌散光斑型(LTP-T10)光斑覆蓋廣,安裝距離靈活(5-10mm)需保持測量角度≤±10°
微小區(qū)域精密測量聚焦光斑型(LTVP-TVF)微米級(jí)光斑,精度更高(±5° 測量角度)需嚴(yán)格控制軸向 / 徑向安裝距離
定制化遠(yuǎn)距檢測聚焦光斑型(定制款)工作距離可擴(kuò)展至 35-200mm(需提前預(yù)定)聯(lián)系銷售團(tuán)隊(duì)確認(rèn)光學(xué)附件配置


泓川科技LT-R 系列白光干涉測厚儀:納米級(jí)精度丈量新維度

五、結(jié)語:以光學(xué)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)制造升級(jí)

泓川科技LT-R 系列白光干涉測厚儀,憑借寬光譜光源技術(shù)、抗干擾系統(tǒng)設(shè)計(jì)智能化軟件生態(tài),重新定義了工業(yè)膜厚測量的精度邊界。其緊湊的體積與靈活的集成能力,既適用于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)的精密分析,也可無縫嵌入生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)在線檢測。無論是半導(dǎo)體芯片的納米級(jí)工藝控制,還是顯示面板的微米級(jí)膜層均勻性管理,這款設(shè)備均能以可靠的數(shù)據(jù)支撐,助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)工藝革新與品質(zhì)躍升。




關(guān)鍵詞:白光干涉測厚儀、泓川科技、納米精度、多層膜檢測、工業(yè)級(jí)抗干擾、半導(dǎo)體量測



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