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美國(guó) API 激光干涉儀的應(yīng)用領(lǐng)域剖析

來(lái)源:篤摯儀器(上海)有限公司   2025年05月29日 15:21  
美國(guó) API 激光干涉儀的應(yīng)用領(lǐng)域剖析


美國(guó) API 激光干涉儀憑借其高精度、高可靠性等特性,在多個(gè)關(guān)鍵領(lǐng)域發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。


在航空航天領(lǐng)域,從飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)制造到飛行器結(jié)構(gòu)件加工,API 激光干涉儀無(wú)處不在。飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)的葉片制造精度直接影響發(fā)動(dòng)機(jī)的效率與安全性,API 激光干涉儀可精確檢測(cè)葉片型面誤差,確保葉片符合設(shè)計(jì)要求,保障發(fā)動(dòng)機(jī)穩(wěn)定運(yùn)行。飛行器機(jī)身結(jié)構(gòu)件的裝配精度同樣關(guān)鍵,它能測(cè)量裝配過(guò)程中的位置誤差、平面度誤差等,為飛行器的整體性能和飛行安全提供保障。


半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)精度的追求達(dá)到了很高,API 激光干涉儀成為該行業(yè)的得力助手。在芯片制造的光刻工藝中,需要將電路圖案精確地刻在硅片上,激光干涉儀用于校準(zhǔn)光刻機(jī)的運(yùn)動(dòng)精度,確保芯片上電路線(xiàn)條的寬度和間距符合設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn),對(duì)于提高芯片的集成度和性能起著決定性作用。在半導(dǎo)體設(shè)備制造中,如晶圓劃片機(jī)、鍵合機(jī)等,API 激光干涉儀用于檢測(cè)設(shè)備關(guān)鍵部件的運(yùn)動(dòng)精度,保證設(shè)備在高速、高精度的工作狀態(tài)下穩(wěn)定運(yùn)行。


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