ULVAC愛發(fā)科 油旋片真空泵 應用

什么是油旋片真空泵？

油旋轉真空泵是指通過油來減少轉子、定子、滑動葉片等部件之間的機密和無效空間的容積移送型真空泵。

油旋片真空泵的特點

　油旋片真空泵使用真空泵油使旋轉部件的運動更加平穩(wěn)，并使用真空密封來提高氣密性，從而實現(xiàn)高排氣性能。此外，它是效率高的泵類型，可以在大氣壓至高真空范圍內有效運行，并且是一種可提供穩(wěn)定泵送性能的高可靠性泵。

【優(yōu)點】價格便宜、結構緊湊、安裝方便、容易獲得10Pa以下的真空。

[缺點] 真空泵油的處理比較復雜。

油旋轉真空泵的工作原理

　油旋片真空泵大致分為三種類型。

1）旋轉翼型油旋轉真空泵

該泵裝有兩個葉片，安裝在汽缸內側的轉子上。該葉片將氣缸內分成三個空間。被分割的空間的氣體隨著轉子的旋轉被壓縮，并以周期性變化的方式通過排氣閥排放到大氣中。油起到潤滑軸承部、冷卻、提高葉片和氣缸氣密性的密封作用。

2）凸輪式油回轉真空泵

　偏心轉子安裝在圓柱形定子的中心，轉子的一部分與定子接觸并旋轉。進氣側和排氣側均安裝有可上下移動的葉片作為密封件。在轉子旋轉一圈的過程中，定子和轉子之間的間隙被抽空以產生真空。

3）擺動活塞式油回轉真空泵

　沿導向段滑動的活塞因偏心轉子的旋轉而上下擺動，改變活塞與氣缸所圍成的空間的容積，從而輸送氣體。

油旋片真空泵的主要用途

食品、卡盤、真空爐、泄漏系統(tǒng)、浸漬裝置、激光、涂層、化學、醫(yī)療、中央真空系統(tǒng)等

應用行業(yè)：

制造業(yè)、半導體與集成電路行業(yè)、醫(yī)療器械、航空航天與國防、食品與藥品行業(yè)、化學與精細化工行業(yè)、真空鍍膜與表面處理、科研與實驗室、紡織與印刷、能源行業(yè)等。

制造業(yè)

在制造業(yè)中，油式旋片真空泵常用于工業(yè)氣體處理、氣瓶搬運與真空干燥，確保生產環(huán)境的清潔和安全，提高生產效率和產品質量?。

半導體與集成電路行業(yè)

在半導體制造過程中，油式旋片真空泵被廣泛應用于晶圓清洗、光刻、刻蝕、薄膜沉積等多個關鍵工藝環(huán)節(jié)，提供高純度的真空環(huán)境，確保半導體器件的性能穩(wěn)定和質量?。

醫(yī)療器械

在醫(yī)療行業(yè)中，油式旋片真空泵用于醫(yī)療設備如血壓計、血液分析器、醫(yī)用滅菌器、呼吸機等，為其提供高質量的真空環(huán)境，提高設備的性能和精度?。

食品與藥品行業(yè)

在食品和藥品的干燥過程中，油式旋片真空泵通過降低物料周圍的氣壓，使物料中的水分在較低溫度下迅速蒸發(fā)，從而保留物料的營養(yǎng)成分和活性物質，提高干燥效率和質量。此外，它還用于食品加工、包裝和儲存過程中的真空處理，以延長產品的保質期?。

化學與精細化工行業(yè)

在化學工業(yè)中，油式旋片真空泵用于化學反應、混合、蒸餾等過程，實現(xiàn)真空環(huán)境和氣體輸送。在精細化工中，它也被用于真空過濾、真空蒸發(fā)、真空精餾等領域?。

真空鍍膜與表面處理

在真空鍍膜領域，油式旋片真空泵是構建真空鍍膜室的重要設備之一，能夠快速抽除鍍膜室內的空氣和其他雜質氣體，為鍍膜過程創(chuàng)造理想的真空環(huán)境?。

科研與實驗室

在科研和實驗室環(huán)境中，油式旋片真空泵因其操作簡便、性能穩(wěn)定而備受青睞，能夠滿足各種科學實驗對真空度的不同需求?。

航空航天與國防

在航空航天領域，油式旋片真空泵用于模擬太空環(huán)境、測試航天器部件以及支持空間科學實驗等，其高可靠性和長壽命特點使其成為航天器上真空系統(tǒng)的理想選擇?。

其他行業(yè)

在紡織和印刷行業(yè)中，油式旋片真空泵用于真空包裝、真空吸盤搬運等。

在能源行業(yè)，如太陽能光伏板的制造過程中，油式旋片真空泵也用于相關工藝步驟。?

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