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解鎖微觀測量新境界:光學(xué)3D輪廓儀與共聚焦顯微成像的結(jié)合應(yīng)用

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2025年06月13日 10:13  

在當(dāng)今科技飛速發(fā)展的時(shí)代,眾多行業(yè)正朝著精細(xì)化、微型化的方向大步邁進(jìn)。當(dāng)芯片上的晶體管小到肉眼不可見,當(dāng)手機(jī)攝像頭鏡片需要納米級平整度,傳統(tǒng)測量工具還能扛得住嗎?在這樣的行業(yè)大背景下,SuperView WT3000復(fù)合型光學(xué)3D表面輪廓儀創(chuàng)新性地集成了白光干涉儀和共聚焦顯微鏡兩種高精度3D測量儀器的性能特點(diǎn),為微觀測量領(lǐng)域帶來了的變化。

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集成帶來的測量靈活性飛躍

傳統(tǒng)單一測量設(shè)備要么精度不足,要么無法兼顧復(fù)雜結(jié)構(gòu)。而SuperView WT3000白光干涉儀+共聚焦顯微鏡雙模式融合,納米級難題迎刃而解!

1、白光干涉模式利用白光干涉原理,實(shí)現(xiàn)從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量,可測量0.1nm及以下的粗糙度和納米級的臺(tái)階高度。

2、共聚焦模式以共聚焦技術(shù)為原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,具備銳角度測量能力,可測量傾角接近90°的微觀形貌。

復(fù)合型光學(xué)3D表面輪廓儀將這兩者的優(yōu)勢融合,實(shí)現(xiàn)了 “1 + 1> 2” 的效果:

1、白光干涉模式:納米級“溫柔掃描”  

不傷表面:非接觸測量,連脆弱納米材料都能“輕撫”檢測。  

超高精度:粗糙度測量精度達(dá)0.005nm,相當(dāng)于頭發(fā)絲的十萬分之一!  

適用場景:芯片硅片超光滑表面、光學(xué)鏡片曲率測量,分分鐘出結(jié)果。  

2、共聚焦顯微鏡模式:復(fù)雜結(jié)構(gòu)“透視眼”  

死角全滅:大角度、深槽結(jié)構(gòu)(如芯片引腳)3D成像無壓力。  

動(dòng)態(tài)追蹤:實(shí)時(shí)觀察材料變化,定位鏡片內(nèi)部缺陷。 


這種根據(jù)不同測量場景和樣品特性,靈活切換測量模式的能力,拓展了儀器的適用范圍,為各行業(yè)的研發(fā)和生產(chǎn)提供了測量支持。


提升測量效率與精度

1、自動(dòng)測量:一鍵完成多區(qū)域檢測,還能自動(dòng)拼接大尺寸樣品圖像,省時(shí)90%。  

2、智能防翻車:氣浮隔振底座隔絕振動(dòng),鏡頭防撞設(shè)計(jì),手殘黨也能放心操作。  

3、超高精度:形貌重復(fù)性0.1nm,粗糙度 RMS 重復(fù)性為 0.005nm,臺(tái)階測量準(zhǔn)確度達(dá) 0.5%、重復(fù)性 0.1%(1σ),光學(xué)元件檢測就靠它!  


多行業(yè)應(yīng)用彰顯關(guān)鍵價(jià)值

從手機(jī)到火箭,復(fù)合型光學(xué)3D表面輪廓儀都能干啥?

- 3C電子:鏡頭、MEMS傳感器、折疊屏鉸鏈,測到就是賺到。  

- 航空航天:發(fā)動(dòng)機(jī)葉片缺陷檢測?直接定位0.1μm級裂紋!  

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以前測一個(gè)芯片要換兩臺(tái)設(shè)備,現(xiàn)在WT3000十分鐘搞定!你的行業(yè)是否面臨納米級測量難題?歡迎留言討論。

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