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Surtronic S - 116 采用差動電感式位移傳感器，這一技術(shù)是實現(xiàn)高精度測量的基石。其工作原理基于電磁感應(yīng)現(xiàn)象，當(dāng)帶有金剛石測針的傳感器在被測表面移動時，測針隨表面微觀輪廓的起伏而上下位移。這種位移變化會導(dǎo)致傳感器內(nèi)部電感量的改變，通過精密的電路將電感變化轉(zhuǎn)換為電信號輸出。測針垂直分辨率高達 5nm，能敏銳捕捉到表面極其細微的高度變化，線性度誤差≤±0.1% FS，為精準(zhǔn)測量提供了堅實保障，嚴格滿足 ISO 4287:2017 標(biāo)準(zhǔn)對 Ra 參數(shù)的計量級測量要求。標(biāo)準(zhǔn)配置的金剛石測針針尖半徑為 5μm，同時還提供 2μm/10μm 規(guī)格可選，可根據(jù)不同測量需求靈活適配，如在測量超精密表面時，2μm 針尖半徑的測針能更細膩地反映表面微觀特征。
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