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質(zhì)量流量控制器（MFC）是一種用于精確測(cè)量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的設(shè)備，在現(xiàn)代工業(yè)和科研中發(fā)揮著重要作用。
原理：MFC基于質(zhì)量守恒定律，通過傳感器測(cè)量被控制介質(zhì)的質(zhì)量流量，并將信號(hào)傳遞給控制器。控制器根據(jù)流量傳感器的信號(hào)，通過反饋控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)控制閥的開度，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的質(zhì)量流量控制。其工作原理還涉及熱傳導(dǎo)或質(zhì)量平衡原理，例如，內(nèi)部包含加熱元件和溫度傳感器，氣體流經(jīng)時(shí)帶走熱量，通過測(cè)量溫度差轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，進(jìn)而計(jì)算出質(zhì)量流量。此外，部分MFC利用層流狀態(tài)下壓差與流量的線性關(guān)系，結(jié)合壓力、溫度傳感器實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境波動(dòng)，確保高穩(wěn)定性。
功能：MFC具有流量測(cè)量和控制、自動(dòng)化操作、流量保護(hù)、數(shù)據(jù)采集和記錄等功能。它能夠精確地測(cè)量和控制系統(tǒng)中的流體流量，確保其在一個(gè)設(shè)定的范圍內(nèi)。通過數(shù)字信號(hào)或模擬信號(hào)，對(duì)控制過程進(jìn)行自動(dòng)化操作，用戶可在控制器上設(shè)定流量值，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)。當(dāng)流體流量過大或出現(xiàn)異常時(shí)，控制器會(huì)自動(dòng)關(guān)閉閥門，防止流體泄漏。同時(shí)，MFC還能實(shí)時(shí)采集和記錄流體流量的數(shù)據(jù)，并通過接口傳輸給其他設(shè)備或系統(tǒng)，便于實(shí)時(shí)監(jiān)控和分析。
應(yīng)用：MFC廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化學(xué)制品加工、醫(yī)療設(shè)備、環(huán)保設(shè)備等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體制造中，用于精確控制刻蝕、沉積等工藝中的氣體流量；在醫(yī)療設(shè)備中，如呼吸機(jī)、麻醉機(jī)，確保氣體流量的準(zhǔn)確控制；在環(huán)保設(shè)備中，用于工業(yè)廢氣排放的流量監(jiān)控與數(shù)據(jù)采集。
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