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飛秒激光器的技術(shù)原理

來源:上海昊量光電設(shè)備有限公司   2025年07月17日 14:56  
  飛秒激光器的技術(shù)原理基于超短脈沖激光的生成與精準(zhǔn)控制,其核心在于通過鎖模技術(shù)產(chǎn)生飛秒級(jí)超短脈沖,并結(jié)合光傳輸、光爆破及非線性光學(xué)效應(yīng)實(shí)現(xiàn)高精度加工。以下是其技術(shù)原理的詳細(xì)解析:
 
  一、超短脈沖的產(chǎn)生:鎖模技術(shù)
 
  飛秒激光器的核心是產(chǎn)生飛秒(10
 
  −15
 
  秒)量級(jí)的超短激光脈沖。這一目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)依賴于鎖模技術(shù),其原理如下:
 
  主動(dòng)鎖模:在激光腔內(nèi)插入調(diào)制器,通過精確控制調(diào)制頻率(等于縱模間隔),使不同振蕩縱模具有確定的相位關(guān)系,從而相干疊加形成超短脈沖序列。
 
  被動(dòng)鎖模:利用可飽和吸收體的非線性特性,在激光諧振腔中調(diào)節(jié)損耗。當(dāng)滿足鎖模條件時(shí),可飽和吸收體對(duì)高強(qiáng)度光脈沖吸收較少,而對(duì)低強(qiáng)度光吸收較多,從而篩選出超短脈沖。
 
  通過鎖模技術(shù),激光束中的多個(gè)縱模被同步,形成高峰值功率、超短脈寬的激光脈沖,為后續(xù)高精度加工奠定基礎(chǔ)。
 
  二、脈沖放大與能量提升:CPA原理
 
  飛秒激光脈沖的峰值功率極高,直接放大可能導(dǎo)致光學(xué)元件損傷。為解決這一問題,采用啁啾脈沖放大(CPA)技術(shù):
 
  脈沖展寬:在時(shí)域上將飛秒脈沖展寬至皮秒甚至納秒量級(jí),降低峰值功率,避免損傷放大介質(zhì)。
 
  能量放大:將展寬后的脈沖通過放大器(如鈦寶石晶體),提取更多能量。
 
  脈沖壓縮:放大后,通過光柵對(duì)等器件將脈沖寬度壓縮回飛秒量級(jí),同時(shí)保持高能量,實(shí)現(xiàn)高峰值功率輸出。
 
  CPA技術(shù)使飛秒激光器能夠安全地獲得高單脈沖能量,為精密加工提供充足能量支持。
 
  三、光傳輸與聚焦:精準(zhǔn)控制加工位置
 
  飛秒激光器通過高精度光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)脈沖的傳輸與聚焦:
 
  光傳輸系統(tǒng):利用反射鏡、透鏡等光學(xué)元件,將激光脈沖引導(dǎo)至加工目標(biāo)表面。
 
  聚焦技術(shù):通過物鏡或特殊聚焦鏡頭,將激光脈沖聚焦至微米甚至納米級(jí)光斑,實(shí)現(xiàn)高精度加工。
 
  在眼科手術(shù)中,醫(yī)生通過電腦控制壓平錐鏡,確保激光頭與角膜組織間保持恒定距離,實(shí)現(xiàn)激光脈沖的精準(zhǔn)定向傳輸。這種精準(zhǔn)控制是飛秒激光器在微納制造、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵。
 
  四、光爆破效應(yīng):微米級(jí)組織分離
 
  飛秒激光脈沖與物質(zhì)相互作用時(shí),產(chǎn)生光爆破效應(yīng),實(shí)現(xiàn)微米級(jí)組織的精確分離:
 
  光爆破產(chǎn)生:當(dāng)激光脈沖聚焦至角膜組織時(shí),在焦點(diǎn)處產(chǎn)生高強(qiáng)度電場,引發(fā)多光子吸收和等離子體形成,導(dǎo)致組織瞬間氣化。
 
  微離子蒸發(fā):每個(gè)脈沖的光爆破產(chǎn)生一個(gè)微離子,蒸發(fā)約1微米的眼角膜組織,同時(shí)產(chǎn)生擴(kuò)展的水泡和CO?氣泡。
 
  組織分離:水泡和氣泡被組織吸收后,導(dǎo)致局部組織分離,形成微小直徑的氣泡層,實(shí)現(xiàn)組織的精確切削。
 
  在LASIK手術(shù)中,飛秒激光通過光爆破效應(yīng)制作出厚度均勻、邊緣光滑的角膜瓣,顯著降低手術(shù)并發(fā)癥風(fēng)險(xiǎn)。
 
  五、非線性光學(xué)效應(yīng):拓展應(yīng)用邊界
 
  飛秒激光器的高峰值功率使其能夠激發(fā)非線性光學(xué)效應(yīng),進(jìn)一步拓展其應(yīng)用范圍:
 
  多光子吸收:在生物組織中,飛秒激光通過多光子吸收實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)切割,避免熱損傷。
 
  自相位調(diào)制:激光脈沖在傳輸過程中因非線性效應(yīng)產(chǎn)生頻率調(diào)制,可用于超快光譜學(xué)研究。
 
  四波混頻:通過非線性相互作用產(chǎn)生新頻率的光,為量子光學(xué)實(shí)驗(yàn)提供光源。
 
  這些非線性光學(xué)效應(yīng)使飛秒激光器在生物成像、基因編輯、藥物遞送等領(lǐng)域展現(xiàn)出優(yōu)勢。
 
  六、技術(shù)優(yōu)勢與應(yīng)用場景
 
  飛秒激光器的技術(shù)原理賦予其以下核心優(yōu)勢:
 
  高精度:脈沖寬度極短,加工精度達(dá)微米甚至納米級(jí)。
 
  低損傷:避免熱效應(yīng)和沖擊波,對(duì)周圍組織損傷極小。
 
  高靈活性:通過調(diào)整脈沖參數(shù),適應(yīng)不同材料的加工需求。
 
  飛秒激光器應(yīng)用場景涵蓋:
 
  眼科手術(shù):制作角膜瓣、矯正近視、遠(yuǎn)視、散光。
 
  微納制造:精密打孔、切割、雕刻微電子芯片。
 
  生物醫(yī)學(xué):生物成像、基因編輯、藥物遞送。
 
  材料科學(xué):研究超快動(dòng)力學(xué)過程、制備新型材料。

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