荷蘭TE 半導體應用實例 | 電鍍液中總有機碳TOC含量的測定
電鍍液中測試總有機碳TOC含量主要為了監(jiān)控有機污染物殘留,確保工藝質量和產(chǎn)品性能。因為電鍍液中的有機污染物(如添加劑分解產(chǎn)物、金屬離子等)會導致鍍層質量下降,出現(xiàn)夾雜、偏脆等問題,直接影響金剛線切割效率和硅片質量。通過檢測TOC含量,可快速判斷有機物殘留是否超標,及時調(diào)整處理工藝。
電鍍液通常含有較高濃度的鹽類(如氯離子),這些成分在高溫氧化過程中可能腐蝕儀器部件(如燃燒管內(nèi)壁附著鹽分),另外氯離子(Cl?)對氧化反應有抑制作用,會影響有機碳向二氧化碳的轉化效率,進而影響TOC檢測結果的準確性。 ?
荷蘭TE公司——Xpert TOC總有機碳分析儀的專利耐高鹽設計,可以在得到準備的測試結果的同時避免高鹽對系統(tǒng)的損害。
檢測要求
電鍍液中的TOC含量
樣品類型
電鍍液-來自于某客戶實際樣品,樣品中含有硫酸銅,鹽酸,硫酸等酸類。
檢測條件
儀器型號:荷蘭TE XPERT-TOC總有機碳分析儀
爐溫:720℃
測試模式:TOC=TC-IC
進樣體積:100μL(TC) 500μL(IC)
氧氣流速:200mL/min
標準曲線:R2>0.999
檢測結果
結論:
每個樣品測試3次重復,結果重現(xiàn)性良好,在高本底鹽度和酸度的電鍍液樣品即使?jié)舛瘸^1000ppm的樣品也無需稀釋直接進樣,充分證實了荷蘭TE這款XPERT-TOC總有機碳分析儀的性能和可靠的質量。
?? XPERT-TOC/TNb ——集成了儀器堅固耐用性,分析準確性和操作便捷性于一體的最新一代總有機碳分析儀。
實驗室選擇 XPERT-TOC/TNb的原因:
?? 高溫催化燃燒法的原理設計,一次進樣幾分鐘內(nèi)既可得到總有機碳TOC及總化合氮TNb。
?? 采用TEIS分析控制軟件實現(xiàn)儀器的全自動化操作,符合所有目前現(xiàn)行的高溫燃燒法的所有官方標準和方法。
?? XPERT可以一次進樣得到TOC/TNb總有機碳及總化合氮結果,也可以分別得到單個的TOC總有機碳及TNb總化合氮結果。
?? 符合各種國際及國內(nèi)標準,符合各種高溫催化燃燒測試標準,例如:
·HJ 501-2009,HJ 695-2014;
·ASTM D7573,ASTM D8083;
·EN-1484;
·EPA 415.1,EPA 9060;
·ISO 8245,ISO 11905-2;
·USP<643>
等各種國內(nèi)國際標準。
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