原理信息：PSD 基于非均勻半導(dǎo)體的橫向光電效應(yīng)工作，由形成在高電阻率半導(dǎo)體襯底表面的均勻電阻層和用于提取位置信號(hào)的電極組成，有源區(qū)的 p-n 結(jié)通過(guò)光電效應(yīng)產(chǎn)生光電流。通過(guò)計(jì)算光電流，可得出激光點(diǎn)的能量中心在感光面的位置信息，進(jìn)而獲取被測(cè)對(duì)象的直線度、平面度等數(shù)據(jù)。例如，測(cè)量直線度時(shí)，可實(shí)時(shí)測(cè)量各個(gè)測(cè)量位置的高低和左右位移量，而非角度值。

功能信息：

高精度幾何量測(cè)量：可高精度非接觸測(cè)量工件或?qū)к壍闹本€度和平面度，廣泛應(yīng)用于通用機(jī)床、半導(dǎo)體加工設(shè)備、新能源加工設(shè)備等工業(yè)領(lǐng)域，確保產(chǎn)品質(zhì)量。

一鍵調(diào)光：革新了傳統(tǒng)儀器繁瑣耗時(shí)的調(diào)光過(guò)程。用戶只需在測(cè)量起始點(diǎn)執(zhí)行一次清零操作，并在終點(diǎn)處簡(jiǎn)單調(diào)整發(fā)射器至預(yù)定指示值，即可在不超過(guò) 2 分鐘內(nèi)完成調(diào)光，極大提高測(cè)量效率，降低操作難度，且測(cè)量導(dǎo)軌越長(zhǎng)，效率提升效果越明顯。

多方向同時(shí)測(cè)量：可同時(shí)測(cè)量高低和左右兩個(gè)方向的直線度，還能實(shí)現(xiàn)不等間距測(cè)量，無(wú)需借助橋板，也可對(duì)斷續(xù)導(dǎo)軌的直線度進(jìn)行測(cè)量。

測(cè)量范圍廣且誤差?。褐本€度、平行度、平面度、垂直度測(cè)量范圍均為 ±5mm，直線度測(cè)量誤差為 ±（0.5% h+1μm），平行度和垂直度測(cè)量誤差為 ±（4+2/m+0.005h/m）μm/m，平面度測(cè)量誤差≤±（1+1.1m+0.005h）μm（其中 h 為儀器的最大顯示值，單位為 μm；m 為基準(zhǔn)面、基準(zhǔn)軸長(zhǎng)度或平面內(nèi)最長(zhǎng)測(cè)量線的長(zhǎng)度，單位為 m）。

環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)：溫度、濕度、氣壓對(duì)設(shè)備影響很小，雖空氣擾動(dòng)有一定影響，但整體而言，能在多種工業(yè)環(huán)境中較為穩(wěn)定地工作。