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熱式氣體質(zhì)量流量計基于熱擴散原理，通過測量氣體流經(jīng)加熱傳感器時帶走的熱量變化直接計算質(zhì)量流量，無需溫壓補償。其核心優(yōu)勢在于對低流量（如mL/min級）和微小流量變化的高靈敏度，量程比可達1000:1，且壓損可忽略，適合小管徑、低流速場景。典型應(yīng)用包括半導體制造中工藝氣體（如氬氣、氦氣）的精準控制、醫(yī)療設(shè)備（如麻醉機、制氧機）的氣體流量監(jiān)測，以及環(huán)保領(lǐng)域煙道氣排放的CEMS系統(tǒng)（避免差壓式易堵塞問題）。此外，其直管段要求低（1-2D）、安裝簡便（可插入式安裝），且支持數(shù)字通信，兼容工業(yè)4.0需求。
壓差式氣體質(zhì)量流量計基于伯努利方程和哈根-泊肅葉定律，通過節(jié)流裝置（如孔板、V錐）產(chǎn)生壓差，結(jié)合溫度、壓力補償間接推算質(zhì)量流量。其核心優(yōu)勢在于高精度（±0.5%~1%Rd/S.P.）和寬動態(tài)范圍（量程比200:1），適合全量程覆蓋0.5sccm~5000slpm的場景。典型應(yīng)用包括生物反應(yīng)器供氣、滅菌工藝蒸汽流量監(jiān)控等對精度和重復性要求嚴苛的領(lǐng)域，以及燃料電池氫氣流量控制、工業(yè)廢氣排放監(jiān)測等高溫、腐蝕性氣體場景。此外，其內(nèi)置多種氣體數(shù)據(jù)庫，支持混合氣體一鍵切換，且校準周期長達2-3年，維護成本低。
對比與選型建議：
精度與量程：壓差式在低流量（0.5sccm以下）精度更高，全量程覆蓋能力更強；熱式在低流速時靈敏度占優(yōu)，但量程范圍較窄。
介質(zhì)適應(yīng)性：壓差式耐高溫、耐腐蝕，可耐受液體滲入；熱式傳感器接觸液體易損壞，不適用于臟污或高濕度介質(zhì)。
響應(yīng)速度與成本：熱式響應(yīng)更快（最快100ms），但長期穩(wěn)定性受傳感器老化影響；壓差式響應(yīng)時間≤700ms，但校準周期長，長期成本更低。
推薦場景：
半導體、醫(yī)療等對低流量精度要求高的場景，優(yōu)先選熱式；
生物制藥、環(huán)保監(jiān)測等需耐高溫、耐腐蝕或混合氣體測量的場景，優(yōu)先選壓差式。
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