在NH₄OH的分析中，待測元素主要受到來自Ar的質(zhì)譜干擾，如⁴⁰Ar⁺對⁴⁰Ca⁺，⁴⁰Ar¹⁶O⁺對⁵⁶Fe⁺，³⁸Ar¹H⁺對³⁹K⁺的干擾等。雖然Ca和Fe有其他同位素可供選擇，但樣品里上述兩種元素含量非常低，想要測試結(jié)果更加準(zhǔn)確，必須選擇靈敏度更高的同位素。另外，Pt也是客戶關(guān)注的元素之一，為了降低元素的背景，使用的是Pt采樣錐及截取錐，可能會(huì)導(dǎo)致Pt背景偏高。

儀器配置如下表：

表1.儀器配置

下圖展示了在29% NH₄OH測試過程中受Ar原子質(zhì)譜干擾的K、Ca、Fe，以及受到鉑錐影響Pt的標(biāo)準(zhǔn)曲線，各元素的線性相關(guān)系數(shù)均達(dá)到0.999以上；其余待測元素的線性相關(guān)系數(shù)也在0.999以上，能夠保證測試結(jié)果的準(zhǔn)確度良好。    

圖1.K、Ca、Fe、Pt標(biāo)準(zhǔn)曲線（點(diǎn)擊查看大圖）

根據(jù)SEMI的指南對29% NH₄OH樣品進(jìn)行了加標(biāo)回收率，SEMI要求所有元素的加標(biāo)回收率均需在75-125%之間。本次測試所有待測元素的加標(biāo)濃度為10ppt，滿足SEMI要求，所有元素加標(biāo)回收率均在90-110%之間，測試結(jié)果如下表：

表2.各元素檢出限、背景等效濃度及回收率

（點(diǎn)擊查看大圖）

向下滑動(dòng)查看表2全部內(nèi)容

為了驗(yàn)證儀器測試29% NH₄OH的穩(wěn)定性，連續(xù)分析了加標(biāo)20ppt的29% NH₄OH近5個(gè)小時(shí)，結(jié)果顯示所有待測元素的RSD值均在5%以內(nèi)，穩(wěn)定性能良好，所有元素的穩(wěn)定性圖如下。良好的穩(wěn)定性是基于優(yōu)異的硬件設(shè)計(jì)，NexION 5000使用的：

圖2.各元素穩(wěn)定性（點(diǎn)擊查看大圖）

NexION 5000能夠直接測試29% NH₄OH，具有專利技術(shù)的四極桿通用池能夠徹底消除測試過程中遇到的質(zhì)譜干擾；在樣品品質(zhì)達(dá)到的情況下，所有待測元素的測試結(jié)果均在10ppt以內(nèi)，滿足SEMI G5的等級。儀器優(yōu)異的硬件設(shè)計(jì)保證了測試過程優(yōu)異的穩(wěn)定性，保證測試可以準(zhǔn)確、高效的進(jìn)行。