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德國OPTRIS高精度短波紅外熱像儀的測量精度和產品特性是什么

來源:玉崎科學儀器(深圳)有限公司   2025年08月05日 10:59  
德國 OPTRIS 高精度短波紅外熱像儀(以 PI 1M、PI 05M、PI 08M 等系列為代表)專為金屬、熔融物、半導體、增材制造等高溫或高反射表面的非接觸測溫而設計,憑借 0.5–1.1 μm 的超短波紅外窗口,顯著提高了金屬發(fā)射率并抑制環(huán)境反射誤差,從而把系統(tǒng)測量精度推進到“讀數(shù)的 ±0.5 %~±1 %”水平,在 23 °C 環(huán)溫、發(fā)射率≥0.8 的標定條件下,PI 1M 對 <1400 °C 目標可實現(xiàn) ±1 % 的絕對精度,重復性優(yōu)于 0.3 %,噪聲等效溫差(NETD)≤75 mK(700 °C 時),達到實驗室級測試要求。
一、測量精度的技術根基
  1. 光譜選擇:1 μm(PI 1M)、0.8 μm(PI 08M)、0.52 μm(PI 05M)短波波段,金屬表面在該波段發(fā)射率比傳統(tǒng) 8-14 μm 區(qū)域高 3-10 倍,從根本上降低了反射背景帶來的誤差。
  2. 高靈敏度 CMOS 探測器:像元尺寸 15 μm,動態(tài)范圍 14 bit,配合低噪聲前端模擬電路,使系統(tǒng) NETD 達到亞開爾文級。
  3. 實時兩點/多點非均勻性校正(NUC)與自動黑體漂移補償:內置 30 mm 腔式黑體,可在運行間隙自動校準,長期穩(wěn)定性 <±0.3 %/年。
  4. 數(shù)字補償算法:OPTRIS PIX Connect 軟件內置發(fā)射率表、環(huán)境輻射補償、透射率修正、光學路徑溫度補償模型,保證現(xiàn)場復雜工況下的數(shù)據(jù)真實性。
二、產品特性全景
  1. 量程與速度
    • PI 1M:450 – 1800 °C 全程無子區(qū)間,32 Hz@764×480、80 Hz@382×288、1 kHz 線掃描 764×8,1 ms 響應時間,既滿足實驗室精細研究,也勝任軋鋼、激光熔覆等高速場景。
    • PI 05M:900 – 2450 °C,0.5–0.54 μm,專為熔融金屬、單晶爐、硅熔測溫設計。
    • PI 08M:575 – 1900 °C,0.8 μm,對 NIR 激光與 CO? 激光不敏感,可直接監(jiān)控激光選區(qū)熔化(SLM)、激光焊接過程。
  2. 空間分辨能力與視場
    可更換鏡頭組(16 mm、25 mm、50 mm、75 mm),F(xiàn)OV 從 6°×4° 到 82°×64°;最小像元對應 0.68 mrad,可在 1 m 距離分辨 0.7 mm 目標,滿足芯片鍵合、微裂紋檢測等高空間分辨率需求。
  3. 機械與接口設計
    • 46 mm×56 mm×90 mm 鋁制外殼,重量 320 g,IP67 防護,可選不銹鋼水冷套與空氣吹掃,適配鋼鐵廠 80 °C 環(huán)境溫度。
    • USB2.0、千兆以太網(wǎng)、Camera Link、0-10 V 模擬輸出、RS485 多接口并行;工業(yè)級 PIF 模塊提供 3 路繼電器、3 路 4-20 mA 輸出,無縫接入 PLC、DCS
    • 電動遠程調焦:電機行程 5 mm,重復定位精度 ±10 µm,可在高溫爐壁、真空腔體等危險區(qū)域遠程聚焦
  4. 軟件生態(tài)
    • PIX Connect:實時顯示、多點測溫、線溫分布、趨勢分析、報警記錄、SDK(C++/C#/LabVIEW)開放;支持 OPC UA、Modbus TCP,實現(xiàn)工業(yè) 4.0 數(shù)據(jù)上云。
    • 二次開發(fā):提供 200 余項 API,可在 10 ms 內獲取全幅溫度矩陣,滿足科研用戶的實時閉環(huán)控制需求。
  5. 行業(yè)認證與可靠性
    • 通過 CE、RoHS、IEC 60068-2-27(25 g 沖擊)、IEC 60068-2-6(寬頻振動)認證;平均時間 > 100,000 h。
    • 模塊化易維護設計:鏡頭窗口采用可更換藍寶石玻璃,現(xiàn)場 30 秒完成清潔;探測器組件獨立插拔,維護停機時間 < 5 分鐘。
三、典型應用案例
• 鋼鐵熱軋:PI 1M 以 1 kHz 線掃描模式監(jiān)測 1100 °C 鋼板表面溫度,閉環(huán)控制軋輥冷卻水,厚度偏差從 ±20 μm 降至 ±5 μm。
• 激光增材制造:PI 08M 在 0.8 μm 波段同步測量熔池 1600 °C 溫度分布,實時補償激光功率,孔隙率下降 35 %。
• 半導體 RTP 工藝:PI 05M 通過 0.52 μm 波段測量硅片表面 1200 °C,控溫精度 ±3 °C,提高芯片良率 7 %。
四、選型與使用建議
  1. 若關注 500 °C 以下金屬或反射的鋁、銅,推薦 PI 1M 配 0.8-1.1 μm 濾波片,并配合黑體在線校準。
  2. 若需 2000 °C 以上熔融金屬,直接選 PI 05M 并在窗口加鍍 0.5-0.54 μm 窄帶濾光片。
  3. 對激光加工場景,務必選擇 PI 08M 并啟用激光安全模式,軟件自動屏蔽激光波段的干擾輻射。
總結:OPTRIS 短波紅外熱像儀以亞微米級短波光譜、±0.5 %-±1 % 的測量精度、1 kHz 超高速采樣和完備的工業(yè)接口,成為金屬、激光、半導體等制造領域溫度監(jiān)測與過程控制的解決方案,其一體化、模塊化、智能化設計更讓用戶可以在苛刻的工況下依然獲得實驗室級的數(shù)據(jù)可靠性。


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