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日本進口Osaka Vacuum大阪真空TG1400F渦輪分子泵
日本進口Osaka Vacuum大阪真空TG1400F渦輪分子泵
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■ 靈活的安裝姿勢 ■ 緊湊的尺寸 ■ 節(jié)能 ■ 快速啟動 ■ 結(jié)構(gòu)耐大氣層侵入 ■ 可進行串行通信 ■符合安全標準 NRTL/SEMI-S2/CE 用 ?半導(dǎo)體制造 ?電子槍排氣、離子源排氣 ?FPD 制造 ?表面處理、表面改性 ?各種電子元件的制造 ?分析、檢測設(shè)備 ?管材、光學(xué)元件的制造 ?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究 ?熱處理 ?研發(fā) * 排放腐蝕性氣體時，請選擇化學(xué)相容性 TG-M 或 TG 系列。
| 型 | TG1400F | |
| 進氣法蘭 | VG200/ISO-B200/CF200 標準 | |
| 排氣速度 | N2 （長/秒） | 1400 |
| N2（帶保護絲網(wǎng)） （長/秒） | 1300 | |
| H2 （長/秒） | 750 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4.3×103 | |
| 達到壓力 | （賓夕法尼亞州/托爾） | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 最大氣體流量※1 | （SCCM） | 450 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 5.5-7 |
| 停機時間 | （分鐘） | 15-18 |
| 允許輔助壓力 | （賓夕法尼亞州/托爾） | 330/2.5 |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | ≧250 |
| 安裝位置 | 自由 | |
| 質(zhì)量 | VG/ISO-B/CF （公斤） | 29/30 |
| 控制器型號 | TC1103型 | |
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