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節(jié)能和小型化ESR20N節(jié)能型干式真空泵
EBARA 荏原ESR20N節(jié)能型干式真空泵
EBARA 荏原ESR20N節(jié)能型干式真空泵
轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)和怠速功能，實(shí)現(xiàn)節(jié)能和小型化。 它有助于降低運(yùn)營(yíng)成本。 耐腐蝕材料選項(xiàng)可用于廣泛的應(yīng)用，從負(fù)載鎖和 SEM 等輕負(fù)載應(yīng)用到腐蝕性工藝。
特長(zhǎng)
通過寬范圍溫度控制實(shí)現(xiàn)廣泛的工藝覆蓋
節(jié)能·省空間
應(yīng)對(duì)腐蝕性氣體(標(biāo)準(zhǔn)采用耐腐蝕材料)
對(duì)應(yīng)應(yīng)用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長(zhǎng)等
| 型 | 單位 | ESR20N | ESR30型 | ESR30N | ESR500W（N） | |
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 2~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 |
| 溫度 | °C | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | |
| 權(quán)力 | 功率容量 | 千伏 | 4 | 7 | 7 | 12.3 |
| 排氣速度 | 升/分鐘 | 1,300 ~ 2,000 | 3000 | 3000 | 46000 | |
| 達(dá)到壓力 | 帕 | 2 | 0.53 | 0.67 | 0.2 | |
| 連接口徑 | 進(jìn)氣 | NW40 | 西北50 | 西北50 | ISO160 認(rèn)證 | |
| 排氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 達(dá)到壓力時(shí)的近似功率。 | 千瓦 | 0.7 | 1.7 | 1.7 | 3.1 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 19~22 （0） | 19~22 （3.4） | 19~22 （3.4） | 19~22 （3.4） |
| 電源相位/電壓/頻率 | 200V 型號(hào) | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型號(hào) | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | ||
| 原理圖質(zhì)量 | 公斤 | 90 | 190 | 190 | 500 | |
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