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真空計(jì)的工作原理是什么

來源:深圳市京都玉崎電子有限公司   2025年08月15日 09:22  
真空計(jì)的工作原理因類型不同而存在差異,主要基于氣體在不同真空度下的物理特性(如熱傳導(dǎo)、電離、力平衡、壓縮等)與壓力的關(guān)系來實(shí)現(xiàn)測量。以下按常見類型詳細(xì)說明其工作原理:

一、力式真空計(jì)(以 U 形管真空計(jì)為例)

  • 核心原理:利用流體靜力學(xué)中的力平衡原理,通過液柱高度差反映壓力差。

  • 具體過程

    1. U 形玻璃管內(nèi)充有汞、油等低蒸氣壓工作液,一端連接被測真空系統(tǒng),另一端通大氣或抽成真空。

    2. 當(dāng)被測系統(tǒng)壓力與另一端壓力存在差異時(shí),液柱會產(chǎn)生高度差(Δh)。

    3. 根據(jù)流體靜力學(xué)公式 (其中為工作液密度,為重力加速度),通過液柱差即可直接計(jì)算被測壓力。

  • 適用范圍:主要用于測量粗真空(10?~102 Pa)和低真空(102~10?1 Pa)。

二、壓縮式真空計(jì)(麥克勞真空計(jì))

  • 核心原理:基于玻意耳定律(一定質(zhì)量氣體,溫度不變時(shí),壓強(qiáng)與體積成反比),通過壓縮氣體放大壓力信號實(shí)現(xiàn)測量。

  • 具體過程

    1. 規(guī)管與被測真空系統(tǒng)連接,內(nèi)部封存一定體積()的被測氣體。

    2. 推動汞柱上升,將氣體壓縮至毛細(xì)管內(nèi)的小體積(),此時(shí)壓縮后的氣體壓力可通過汞柱高度差()直接讀出(相當(dāng)于大氣壓與壓縮后壓力的差值)。

    3. 根據(jù)玻意耳定律 為原始壓力,為壓縮后壓力),計(jì)算得出原始真空度 。

  • 適用范圍:測量低真空至高真空(10?1~10?? Pa),是高精度絕對真空計(jì)。


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