一、校準(zhǔn)前準(zhǔn)備

1. 設(shè)備與工具檢查

• 確認待校準(zhǔn)熱傳導(dǎo)真空計（以下簡稱 “被校計”）外觀完好，熱絲無斷裂、松動，電路連接正常（通電后能正常顯示）。

• 準(zhǔn)備標(biāo)準(zhǔn)真空計（精度需高于被校計 1~2 個等級，如被校計允許誤差 ±10%，標(biāo)準(zhǔn)計需≤±5%）、真空系統(tǒng)（包括真空泵、真空閥門、管道、真空規(guī)管接口）、恒溫裝置（控制環(huán)境溫度 20±2℃，避免溫度波動影響熱傳導(dǎo)）。

• 檢查真空系統(tǒng)的氣密性：關(guān)閉所有閥門，抽真空至 1Pa 以下，靜置 30 分鐘，壓力上升率應(yīng)≤0.1Pa/h（確保無泄漏）。

2. 環(huán)境與參數(shù)設(shè)定

• 校準(zhǔn)環(huán)境需無強電磁干擾、振動（振幅＜0.1mm），相對濕度≤60%。

• 被校計與標(biāo)準(zhǔn)計需提前通電預(yù)熱（按說明書要求，通常 30~60 分鐘），確保電路穩(wěn)定。

二、校準(zhǔn)系統(tǒng)連接

1. 機械連接

• 將被校計的規(guī)管與標(biāo)準(zhǔn)計的規(guī)管通過三通或多通接口并聯(lián)接入同一真空腔體（確保兩者測量的是同一壓力點，減少管路死體積影響）。

• 連接真空泵（如旋片泵 + 擴散泵組合，覆蓋熱傳導(dǎo)真空計的量程，通常 10?~10?1Pa），在管道中安裝微調(diào)閥門（用于精確調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力）。

2. 電氣連接

• 分別連接被校計與標(biāo)準(zhǔn)計的電源、信號線，確保兩者正常顯示壓力值（若為數(shù)字式，需記錄小數(shù)點后至少 3 位；指針式需估讀至最小刻度的 1/10）。

三、校準(zhǔn)點選擇與壓力調(diào)節(jié)

1. 確定校準(zhǔn)點

• 覆蓋被校計的全量程，按均勻分布原則選取 5~7 個點（如量程 10?~10?1Pa，可選 10?Pa、10?Pa、103Pa、102Pa、101Pa、10?Pa、5×10?1Pa）。

• 優(yōu)先選擇量程內(nèi)的關(guān)鍵節(jié)點（如滿量程的 10%、50%、90%），確保高、中、低壓力段均被覆蓋。

2. 調(diào)節(jié)壓力至校準(zhǔn)點

• 啟動真空泵，先抽至系統(tǒng)極限真空（低于被校計最小量程），再通過微調(diào)閥門緩慢通入干燥氮氣（或空氣，需無油、無塵），逐步升高壓力至第一個校準(zhǔn)點（如 10?Pa，即大氣壓附近）。

• 穩(wěn)定壓力：每個校準(zhǔn)點需保持壓力波動≤±2%（如 103Pa 校準(zhǔn)點，波動需≤±20Pa），靜置 5~10 分鐘，待被校計與標(biāo)準(zhǔn)計示值穩(wěn)定后再記錄數(shù)據(jù)。