一、產(chǎn)品概述

• 品牌：日本TLV（Tokyo Vacuum）
• 用途：用于檢測半導體真空腔體的泄漏，確保真空系統(tǒng)的密封性和安全性。
• 目標客戶：半導體制造企業(yè)、真空設備制造商、科研機構(gòu)等。

二、主要特點

1. 高靈敏度
• 微小泄漏檢測：能夠檢測到極小的泄漏，靈敏度可達10^-10 Pa·m3/s（帕·立方米/秒）級別，確保真空腔體的密封性。
• 多種檢測模式：支持多種檢測模式，包括氦氣檢漏、真空檢漏和壓力檢漏，適應不同的檢測需求。
2. 高精度
• 精確測量：采用先進的傳感器技術(shù)和信號處理算法，確保測量結(jié)果的高精度和高重復性。
• 溫度補償：內(nèi)置溫度補償功能，確保在不同環(huán)境溫度下的測量精度。
3. 快速響應
• 快速檢測：能夠在短時間內(nèi)完成泄漏檢測，快速響應泄漏情況。
• 實時監(jiān)測：支持實時數(shù)據(jù)輸出，便于用戶及時發(fā)現(xiàn)泄漏并采取措施。
4. 用戶友好
• 直觀界面：配備直觀的用戶界面，操作簡便，無需復雜培訓。
• 自動校準：設備內(nèi)置自動校準功能，用戶可以定期進行校準，確保測量精度。
5. 數(shù)據(jù)管理
• 數(shù)據(jù)記錄：設備內(nèi)置數(shù)據(jù)記錄功能，可存儲大量的檢測數(shù)據(jù)。
• 數(shù)據(jù)輸出：支持USB、LAN等多種數(shù)據(jù)輸出方式，方便用戶將數(shù)據(jù)導入計算機進行分析。
• 數(shù)據(jù)分析：配備專業(yè)的數(shù)據(jù)分析軟件，可對檢測數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析，生成報表。

三、技術(shù)參數(shù)

• 檢測范圍：
• 泄漏率：10^-10 Pa·m3/s至10^-3 Pa·m3/s
• 壓力范圍：10^-6 Pa至大氣壓
• 檢測精度：
• 泄漏率精度：±10%（在10^-8 Pa·m3/s以上）
• 壓力精度：±0.1%（滿量程）
• 響應時間：小于1秒
• 傳感器類型：高靈敏度氦氣傳感器
• 數(shù)據(jù)存儲：內(nèi)置大容量存儲器，可存儲數(shù)月的數(shù)據(jù)
• 數(shù)據(jù)輸出：USB、LAN、RS-232C等多種接口
• 環(huán)境要求：
• 溫度：0°C至50°C
• 濕度：0%至95% RH（無凝結(jié)）
• 電源要求：AC 100V-240V，50/60Hz，功率約150W
• 尺寸與重量：
• 尺寸：約450mm（寬）×350mm（深）×200mm（高）
• 重量：約15公斤

四、應用領域

1. 半導體制造
• 真空腔體檢測：在半導體制造過程中，檢測真空腔體的泄漏，確保真空系統(tǒng)的密封性和安全性。
• 工藝設備檢測：檢測光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等的真空系統(tǒng)，確保工藝的穩(wěn)定性和可靠性。
2. 真空設備制造
• 設備出廠檢測：在真空設備出廠前，進行泄漏檢測，確保設備的密封性和性能。
• 設備維護：定期檢測真空設備的泄漏情況，及時發(fā)現(xiàn)并修復泄漏點。
3. 科研機構(gòu)
• 實驗設備檢測：在科研實驗中，檢測真空實驗設備的泄漏，確保實驗結(jié)果的準確性。
• 工藝開發(fā)：在新工藝開發(fā)過程中，檢測真空系統(tǒng)的泄漏，優(yōu)化工藝參數(shù)。

五、操作流程

1. 開機準備
• 打開設備電源，進行開機自檢。
• 確保設備處于清潔狀態(tài)，檢查傳感器和檢測裝置是否正常。
2. 設備連接
• 將待檢測的真空腔體連接到檢漏儀的檢測接口。
• 確保連接處密封良好，無泄漏。
3. 自動檢測
• 設備自動開始檢測真空腔體的泄漏情況，檢測結(jié)果實時顯示在屏幕上。
• 檢測數(shù)據(jù)自動記錄并存儲。
4. 數(shù)據(jù)輸出
• 檢測完成后，用戶可以通過USB接口或網(wǎng)絡接口將數(shù)據(jù)導出到計算機。
• 使用數(shù)據(jù)分析軟件對數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析，生成檢測報告。
5. 設備維護
• 定期對設備進行清潔和校準，確保設備的長期穩(wěn)定運行。

六、優(yōu)勢與價值

1. 高靈敏度：能夠檢測到極小的泄漏，確保真空系統(tǒng)的密封性和安全性。
2. 高精度：采用先進的傳感器技術(shù)和信號處理算法，確保測量結(jié)果的高精度和高重復性。
3. 快速響應：快速檢測和實時監(jiān)測，便于及時發(fā)現(xiàn)泄漏并采取措施。
4. 用戶友好：操作簡便，內(nèi)置自動校準功能，確保測量精度。
5. 數(shù)據(jù)管理：支持數(shù)據(jù)記錄、存儲和輸出，方便用戶進行數(shù)據(jù)分析和質(zhì)量控制。
6. 可靠性：設備設計精良，穩(wěn)定性高，使用壽命長。