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廠家指定一級代理??！ULVAC愛發(fā)科螺桿式干式真空泵LS120A-C
一、核心產品系列
?油旋片真空泵?
型號：VDN、PVD、VSN系列，GLD系列（高性能、低震動、低噪音）
特點：優(yōu)化散熱設計，油位觀察窗便于監(jiān)測油污染狀況
應用：真空鍍膜、分析儀器、半導體制造設備等35
?干式真空泵?
防腐涂層處理轉子軸與氣缸，增強耐腐蝕性
特殊轉子設計提升粉末排出性能
用途：半導體刻蝕/去膠設備、鋰電池電極干燥、醫(yī)療冷凍干燥等4
?MS系列螺桿泵?（如MS600A）：
二、創(chuàng)新 技術
?多重密封結構?
通過導氣槽設計引導氣流，防止真空腔內雜質磨損轉軸及齒輪，提升密封性1。
?真空檢漏裝置?
結合氮氣源與真空計檢測壓力回升值，通過算法精準判斷工件泄漏，提高檢測效率2。
三、應用領域
?半導體制造?：刻蝕設備、等離子清洗設備真空排氣4
?新能源?：鋰電池注液、電極干燥工藝4
?工業(yè)設備?：真空熱處理爐、真空干燥系統(tǒng)
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